產品展廳
|
Kalrez 9100 Dupont America 杜邦 密封圈 半導體 面板
- 英文名稱：Kalrez
- 品牌：Dupont America 杜邦
- 產地：美國
- 型號：美標&日標成品
- 價格： ￥137/個
- 發(fā)布日期： 2025-01-04
- 更新日期： 2025-02-04
產品詳請
| 品牌 | Dupont America 杜邦 |
| 貨號 | |
| 用途 | Kalrez? 9100 是一款琥珀色半透明產品,專用于 PECVD 和 HDPCVD 工藝。它還在“部分”蝕刻工藝中表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。 |
| 英文名稱 | Kalrez |
| 型號 | Kalrez 9100 |
| 產品等級 | |
| 包裝規(guī)格 | 美標&日標成品 |
| 外形尺寸 | 密封圈 定制尺寸形狀 |
| 原產地 | 美國 |
| 生產企業(yè) | Dupont America 杜邦 |
| 是否進口 | |
| 形狀 | 密封圈 |
Kalrez®
在惡劣環(huán)境中穩(wěn)定
專業(yè)密封設計用于關鍵任務應用。
O-rings made with high-performance Kalrez®.
從航空航天和化學工業(yè)到芯片制程以及油氣應用,杜邦™ Kalrez® 彈性體旨在提供更高的穩(wěn)定性,更高的抵抗力和更有效的密封。周期。
盡管杜邦沒有發(fā)明 O 形圈或特種密封膠,但它在創(chuàng)新和發(fā)展方面已有 40 年的歷史,創(chuàng)造出可承受最具挑戰(zhàn)性的工作環(huán)境的密封膠。
除了其清潔度和純度外,Kalrez®聚合物分子鏈被設計為最惰性的聚合物結構之一,可耐受 1800 多種不同的化學物質,同時提供高溫穩(wěn)定性。
Kalrez®全氟彈性體是按照最高質量標準制造的。每個部件都有記錄的可追溯性,并且這些部件具有行業(yè)內最長、最可預測的使用壽命之一。
Kalrez®零件經過長期驗證性能可以減少密封件的更換,維修和檢查的頻率,增加了過程和設備的正常運行時間,從而提高生產率和良率。
用途
泵、反應釜和法蘭接頭的密封與 O 形圈
閥桿填料系統(tǒng)
用于航空航天、石油和天然氣設備、運輸和化工的高性能零件
生命科學應用
半導體加工
光伏制造密封件
食品接觸材料
優(yōu)勢
耐受 1800 多種化學物質
高達 327°C 高溫耐受性
保持密封完整性
降低維護和運營成本
密封壽命長
符合藥品和食品加工安全標準
提供標準和專用化合物,供定制使用
TM 杜邦™ Kalrez® 9100
用于光伏制造過程
技術信息-2010年7月1日修訂版
產品描述
杜邦™Kalrez°900全氟彈性體部件是一種琥珀色半透明產品,用于要求耐氟等離子體的光伏電池制造過程,包括非晶硅/微晶硅薄膜淀積。在基于氟的等離子體(如 NF3、F2)中,它表現(xiàn)出極低的重量損失和超低的粒子生成。它還具有優(yōu)異的耐干法化學性,并具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性、壓縮設定和排氣性能。Kalrez°9100具有良好的機械強度特性,非常適合靜態(tài)和動態(tài)密封應用。建議的最大連續(xù)使用溫度為300°C。
特點/優(yōu)勢
·氟基等離子體中的極低重量損失和超低粒子生成
·優(yōu)異的干法化學耐受性
·優(yōu)異的耐熱穩(wěn)定性。優(yōu)異的(低)壓縮永久變形和氣體逸出性能
建議應用
氣體國/狹縫閥門密封件
氣體入口/孔口密封件
隔離國密封件
基板處理墊腔室蓋密封件
等離子體電阻
根據使用的功率和化學性質,等離子體可能是一個非常具有性的介質。如果選擇不當,彈性體可能會在等離子體中以驚人的速度被侵蝕,導致在抽空過程中出現(xiàn)問題或導致有毒氣體釋放到大氣中。圖1顯示了Kalrez9100}與典型氟彈性體(競爭性FKMK7)氟硅酮(競爭性FVMQE7)和硅酮(競爭性VMQT1)產品在直接暴露于NF3/Ar(1:3)等離子體6小時后重量損失(侵蝕)百分比的比較。Kalrez89100相對于其他測試產品顯示出顯著較低的體重減輕(腐蝕)。
粒子生成
傳統(tǒng)的密封材料通常含有炭黑和/或礦物填料。較新的產品要么不含填料,要么使用聚合物填料?？沟入x子體性能可能因所用填料的類型而有顯著差異。如果填料對等離子體具有高抗性,它可以將聚合物“屏蔽”,從而減少侵蝕或重量損失,但在聚合物被蝕刻后,留下離散顆粒,具有產生顆粒的高潛力。不含填料和聚合物填料的產品可以完全蝕刻以形成揮發(fā)性物質,從而顯著降低污染的可能性。圖2顯示了杜邦“Kalrez”9100與典型炭黑和礦物填充氟彈性體產品在暴露于NF/Ar(1:3)等離子體6小時后產生的相對粒子數(shù)量。Kalrez9100產生的粒子數(shù)量顯著低于其他測試產品。
杜邦公司™卡爾雷茲9100
用于PECVD/ALD/HDPCVD和導體蝕刻應用
杜邦™Kalrez° 9100 是一種專門針對 PECVD、ALD、HDPCVD 和導體(聚/金屬)蝕刻應用而設計的琥珀色半透明產品*。Kalrez®9100 專為環(huán)境設計,在惡劣的等離子體逸出過程中提供優(yōu)異的耐熱穩(wěn)定性、非常低的侵蝕和極低的粒子生成,以及優(yōu)異的彈性恢復和良好的機械強度特性,非常適合靜態(tài)和“選擇”動態(tài)密封應用*。建議的最大應用溫度為 300°C(572°F)。超純后清潔和包裝是所有Kalrez° 9100零件的標準配置。
半導體!
編輯的選擇
2008年最佳產品
功能/優(yōu)點
·基于氧和氟的等離子體中的低侵蝕率和超低粒子生成
·優(yōu)異的耐干法化學性
·優(yōu)異的熱穩(wěn)定性
極低的排氣性能和金屬含量
·優(yōu)異的彈性恢復和低壓縮設定特性
典型的物理屬性
顏色
硬度,肖爾A2(拼板)
硬度,肖氏M3(0形環(huán))100%模量*,MPa(psi)Break4時的拉伸強度,MPa(psi)休息時的伸長率4,%
壓縮集5,%
204度(400華氏度)70小時250度(482華氏度)70小時
在300攝氏度(572華氏)下70小時
最大應用,溫度6,C(F)
琥珀半透明的
70
78
5.17 (750)15.67(2273)
238
300(572)
不得用于規(guī)格識明目的2ASTMD2240(平新謝試開品)ASTM D2240和D1414(AS568K2140型系測試樣品)AASTM0412 0甘2)ASTMD335S和D1414(A555312140型南謝試開品)
*杜邦專有測試方法
粒子生成傳統(tǒng)的全氟彈性體(FFKM)密封材料通常含有炭黑和/或礦物填料。較新的產品要么不含填料,要么使用聚合物填料?？沟入x子體的能力可以顯著不同,這取決于使用的填料類型。如果填料具有高抗等離子體性,如BaS04、Ti02等,它可以通過“屏蔽”聚合物來減少侵蝕或重量損失,但在聚合物被蝕刻后,可能會產生離散顆粒,具有很高的顆粒生成潛力。 未填充和聚合物填充產品基本上不含碳、氟和氧以外的其他元素,這些元素可以被完全蝕刻以形成揮發(fā)性物質,從而顯著降低污染的可能性。圖1顯示了杜邦Kairez@9100與納米二氧化硅和金屬氧化物填充FFKM產品在不同等離子體中的相對粒子生成。
Fabs 選擇Kalrez@9100以提高性能
據報道,Kalrez°9100在各種半導體工藝應用中顯著提高了晶圓的生產效率,在這些應用中,清洗循環(huán)中使用了氧氣和氟化等離子體。在Fabline 客戶的多項評估中,與競爭性的全氟彈性體相比,Kalrez9100 在靜態(tài)和動態(tài)密封應用中表現(xiàn)出更少的磨損、更低的顆粒生成和更長的密封壽命。
案例報告:#5903-美國主要生產線PM循環(huán)延長3倍!
生產線將PM周期從60天延長到180天
使用180天后,無侵蝕、泄漏、機械損壞或壓縮設定的跡象
設備平臺-NovellusConcept TWo SPEED
工藝-HDPCVD/STI
過程化學-SiHa,He,Oz
清潔化學-4000瓦的NF3等離子體
·密封位置-狹縫閥門、內氣體歧管環(huán)、MESC法蘭插件、等推閥、渦輪閘、圓頂蓋
案例報告#6376-歐洲主要生產線PM循環(huán)改進2倍!
生產線已將PM周期從30,000對芯片延長至>55,000對芯片
密封唇沒有腐蝕、機械損傷、壓縮設定或變形的跡象
設備平臺-應用材料生產商Low-k
工藝-PECVD/黑鉆石
·過程化學-三甲基硅烷(TMS),Oz
清潔化學-通過遠程等離子體源的NF3等離子
·密封位置-增值稅MONOVAT粘合門
案例報告#6441-歐洲主要研究中心PM目標超標·加工5,000片晶回后沒有/極少的侵蝕或降解跡象(圖2)
·研究中心目前正在進行測試,以確定最大實際密封壽命
設備平臺-應用材料CenturaUltima
.工藝-HDPCVD/STI
*Process Chemistry-SiH4.He.02·清潔化學-3000瓦的NF3等離子體
密封位置-粗加工隔離閥錐密封,頂部噴嘴總成0形環(huán)密封
圖2.杜邦™Kalrez®9100 和現(xiàn)有密封件在加工 5000 片晶圓后。研究中心認為,Kalrez9100 密封件可以在計劃的 5,000 片晶圓 PM 周期之后繼續(xù)工作。
卡勒茲。9100木偶印章
Kalrez@9100 頂部噴嘴密封
現(xiàn)任 FFKM 波普特印章
現(xiàn)任FFKM頂部噴嘴密封件
案例報告 #6738-美國主要生產線PM循環(huán)延長3倍!
·生產線已將PM周期從400小時延長至1200小時
·使用1200 Rf小時后沒有退化或開裂的跡象
設備亞臺-Lam ResearchTCP-9600
工藝-金屬蝕刻和抗蝕條/灰
過程化學-氯化鋯,BCI3,水蒸氣清潔化學-0z等離子體(清潔每顆晶回后的灰塵沉積物)
·密封位置-狹縫閥開口的定制密封
案例報告#10376-主要AP生產線PM循環(huán)延長2倍!·生產線將PM周期從27,000片延長到54,000片
加工54,000片晶回后沒有侵蝕、開裂或壓縮的跡象
·設備平臺-應用材料@生產者®SE
工藝-PECVD
工藝化學_TMS,Oz,He,Ar
清潔化學-NF3
密封位置-蓋組件
注:杜邦的顏色可能會有所不同。"Kalrez@9100 部件。變化被認為是外觀上的。請參見以下詳細信息。如果您有任何問題或需要任何額外信息,請聯(lián)系Kalrez@應用工程師。
標記(暗斑)
Kalrez® 9100]部件中可能有小標記(深色斑點)。這些標記(深色斑點)是固化過程的結果,是部件固有的。它們不是外來物質的標志預計不會對部件在服役中的性能產生不利影響。
深色密封元件-粘合門密封件(BDS)
Kalrez®9100粘合門密封件(BDS)中的密封元件顏色比Kalreze91000型深,原因有二:
1)與Kalrez91000型圈相比,Kalrez@9100 BDS在不同的標準操作條件下制造。
2)由于密封元件在至少一個或多個側面上與鋁粘合,因此通過它的光較少。在這兩種情況下,這都是一個顏色問題,即較暗的顏色并不意味著密封元件中存在異物,也不預期會對Kalrez®9100 BDS在服役中的性能產生不利影響。
在惡劣環(huán)境中穩(wěn)定
專業(yè)密封設計用于關鍵任務應用。
O-rings made with high-performance Kalrez®.
從航空航天和化學工業(yè)到芯片制程以及油氣應用,杜邦™ Kalrez® 彈性體旨在提供更高的穩(wěn)定性,更高的抵抗力和更有效的密封。周期。
盡管杜邦沒有發(fā)明 O 形圈或特種密封膠,但它在創(chuàng)新和發(fā)展方面已有 40 年的歷史,創(chuàng)造出可承受最具挑戰(zhàn)性的工作環(huán)境的密封膠。
除了其清潔度和純度外,Kalrez®聚合物分子鏈被設計為最惰性的聚合物結構之一,可耐受 1800 多種不同的化學物質,同時提供高溫穩(wěn)定性。
Kalrez®全氟彈性體是按照最高質量標準制造的。每個部件都有記錄的可追溯性,并且這些部件具有行業(yè)內最長、最可預測的使用壽命之一。
Kalrez®零件經過長期驗證性能可以減少密封件的更換,維修和檢查的頻率,增加了過程和設備的正常運行時間,從而提高生產率和良率。
用途
泵、反應釜和法蘭接頭的密封與 O 形圈
閥桿填料系統(tǒng)
用于航空航天、石油和天然氣設備、運輸和化工的高性能零件
生命科學應用
半導體加工
光伏制造密封件
食品接觸材料
優(yōu)勢
耐受 1800 多種化學物質
高達 327°C 高溫耐受性
保持密封完整性
降低維護和運營成本
密封壽命長
符合藥品和食品加工安全標準
提供標準和專用化合物,供定制使用
TM 杜邦™ Kalrez® 9100
用于光伏制造過程
技術信息-2010年7月1日修訂版
產品描述
杜邦™Kalrez°900全氟彈性體部件是一種琥珀色半透明產品,用于要求耐氟等離子體的光伏電池制造過程,包括非晶硅/微晶硅薄膜淀積。在基于氟的等離子體(如 NF3、F2)中,它表現(xiàn)出極低的重量損失和超低的粒子生成。它還具有優(yōu)異的耐干法化學性,并具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性、壓縮設定和排氣性能。Kalrez°9100具有良好的機械強度特性,非常適合靜態(tài)和動態(tài)密封應用。建議的最大連續(xù)使用溫度為300°C。
特點/優(yōu)勢
·氟基等離子體中的極低重量損失和超低粒子生成
·優(yōu)異的干法化學耐受性
·優(yōu)異的耐熱穩(wěn)定性。優(yōu)異的(低)壓縮永久變形和氣體逸出性能
建議應用
氣體國/狹縫閥門密封件
氣體入口/孔口密封件
隔離國密封件
基板處理墊腔室蓋密封件
等離子體電阻
根據使用的功率和化學性質,等離子體可能是一個非常具有性的介質。如果選擇不當,彈性體可能會在等離子體中以驚人的速度被侵蝕,導致在抽空過程中出現(xiàn)問題或導致有毒氣體釋放到大氣中。圖1顯示了Kalrez9100}與典型氟彈性體(競爭性FKMK7)氟硅酮(競爭性FVMQE7)和硅酮(競爭性VMQT1)產品在直接暴露于NF3/Ar(1:3)等離子體6小時后重量損失(侵蝕)百分比的比較。Kalrez89100相對于其他測試產品顯示出顯著較低的體重減輕(腐蝕)。
粒子生成
傳統(tǒng)的密封材料通常含有炭黑和/或礦物填料。較新的產品要么不含填料,要么使用聚合物填料?？沟入x子體性能可能因所用填料的類型而有顯著差異。如果填料對等離子體具有高抗性,它可以將聚合物“屏蔽”,從而減少侵蝕或重量損失,但在聚合物被蝕刻后,留下離散顆粒,具有產生顆粒的高潛力。不含填料和聚合物填料的產品可以完全蝕刻以形成揮發(fā)性物質,從而顯著降低污染的可能性。圖2顯示了杜邦“Kalrez”9100與典型炭黑和礦物填充氟彈性體產品在暴露于NF/Ar(1:3)等離子體6小時后產生的相對粒子數(shù)量。Kalrez9100產生的粒子數(shù)量顯著低于其他測試產品。
杜邦公司™卡爾雷茲9100
用于PECVD/ALD/HDPCVD和導體蝕刻應用
杜邦™Kalrez° 9100 是一種專門針對 PECVD、ALD、HDPCVD 和導體(聚/金屬)蝕刻應用而設計的琥珀色半透明產品*。Kalrez®9100 專為環(huán)境設計,在惡劣的等離子體逸出過程中提供優(yōu)異的耐熱穩(wěn)定性、非常低的侵蝕和極低的粒子生成,以及優(yōu)異的彈性恢復和良好的機械強度特性,非常適合靜態(tài)和“選擇”動態(tài)密封應用*。建議的最大應用溫度為 300°C(572°F)。超純后清潔和包裝是所有Kalrez° 9100零件的標準配置。
半導體!
編輯的選擇
2008年最佳產品
功能/優(yōu)點
·基于氧和氟的等離子體中的低侵蝕率和超低粒子生成
·優(yōu)異的耐干法化學性
·優(yōu)異的熱穩(wěn)定性
極低的排氣性能和金屬含量
·優(yōu)異的彈性恢復和低壓縮設定特性
典型的物理屬性
顏色
硬度,肖爾A2(拼板)
硬度,肖氏M3(0形環(huán))100%模量*,MPa(psi)Break4時的拉伸強度,MPa(psi)休息時的伸長率4,%
壓縮集5,%
204度(400華氏度)70小時250度(482華氏度)70小時
在300攝氏度(572華氏)下70小時
最大應用,溫度6,C(F)
琥珀半透明的
70
78
5.17 (750)15.67(2273)
238
300(572)
不得用于規(guī)格識明目的2ASTMD2240(平新謝試開品)ASTM D2240和D1414(AS568K2140型系測試樣品)AASTM0412 0甘2)ASTMD335S和D1414(A555312140型南謝試開品)
*杜邦專有測試方法
粒子生成傳統(tǒng)的全氟彈性體(FFKM)密封材料通常含有炭黑和/或礦物填料。較新的產品要么不含填料,要么使用聚合物填料?？沟入x子體的能力可以顯著不同,這取決于使用的填料類型。如果填料具有高抗等離子體性,如BaS04、Ti02等,它可以通過“屏蔽”聚合物來減少侵蝕或重量損失,但在聚合物被蝕刻后,可能會產生離散顆粒,具有很高的顆粒生成潛力。 未填充和聚合物填充產品基本上不含碳、氟和氧以外的其他元素,這些元素可以被完全蝕刻以形成揮發(fā)性物質,從而顯著降低污染的可能性。圖1顯示了杜邦Kairez@9100與納米二氧化硅和金屬氧化物填充FFKM產品在不同等離子體中的相對粒子生成。
Fabs 選擇Kalrez@9100以提高性能
據報道,Kalrez°9100在各種半導體工藝應用中顯著提高了晶圓的生產效率,在這些應用中,清洗循環(huán)中使用了氧氣和氟化等離子體。在Fabline 客戶的多項評估中,與競爭性的全氟彈性體相比,Kalrez9100 在靜態(tài)和動態(tài)密封應用中表現(xiàn)出更少的磨損、更低的顆粒生成和更長的密封壽命。
案例報告:#5903-美國主要生產線PM循環(huán)延長3倍!
生產線將PM周期從60天延長到180天
使用180天后,無侵蝕、泄漏、機械損壞或壓縮設定的跡象
設備平臺-NovellusConcept TWo SPEED
工藝-HDPCVD/STI
過程化學-SiHa,He,Oz
清潔化學-4000瓦的NF3等離子體
·密封位置-狹縫閥門、內氣體歧管環(huán)、MESC法蘭插件、等推閥、渦輪閘、圓頂蓋
案例報告#6376-歐洲主要生產線PM循環(huán)改進2倍!
生產線已將PM周期從30,000對芯片延長至>55,000對芯片
密封唇沒有腐蝕、機械損傷、壓縮設定或變形的跡象
設備平臺-應用材料生產商Low-k
工藝-PECVD/黑鉆石
·過程化學-三甲基硅烷(TMS),Oz
清潔化學-通過遠程等離子體源的NF3等離子
·密封位置-增值稅MONOVAT粘合門
案例報告#6441-歐洲主要研究中心PM目標超標·加工5,000片晶回后沒有/極少的侵蝕或降解跡象(圖2)
·研究中心目前正在進行測試,以確定最大實際密封壽命
設備平臺-應用材料CenturaUltima
.工藝-HDPCVD/STI
*Process Chemistry-SiH4.He.02·清潔化學-3000瓦的NF3等離子體
密封位置-粗加工隔離閥錐密封,頂部噴嘴總成0形環(huán)密封
圖2.杜邦™Kalrez®9100 和現(xiàn)有密封件在加工 5000 片晶圓后。研究中心認為,Kalrez9100 密封件可以在計劃的 5,000 片晶圓 PM 周期之后繼續(xù)工作。
卡勒茲。9100木偶印章
Kalrez@9100 頂部噴嘴密封
現(xiàn)任 FFKM 波普特印章
現(xiàn)任FFKM頂部噴嘴密封件
案例報告 #6738-美國主要生產線PM循環(huán)延長3倍!
·生產線已將PM周期從400小時延長至1200小時
·使用1200 Rf小時后沒有退化或開裂的跡象
設備亞臺-Lam ResearchTCP-9600
工藝-金屬蝕刻和抗蝕條/灰
過程化學-氯化鋯,BCI3,水蒸氣清潔化學-0z等離子體(清潔每顆晶回后的灰塵沉積物)
·密封位置-狹縫閥開口的定制密封
案例報告#10376-主要AP生產線PM循環(huán)延長2倍!·生產線將PM周期從27,000片延長到54,000片
加工54,000片晶回后沒有侵蝕、開裂或壓縮的跡象
·設備平臺-應用材料@生產者®SE
工藝-PECVD
工藝化學_TMS,Oz,He,Ar
清潔化學-NF3
密封位置-蓋組件
注:杜邦的顏色可能會有所不同。"Kalrez@9100 部件。變化被認為是外觀上的。請參見以下詳細信息。如果您有任何問題或需要任何額外信息,請聯(lián)系Kalrez@應用工程師。
標記(暗斑)
Kalrez® 9100]部件中可能有小標記(深色斑點)。這些標記(深色斑點)是固化過程的結果,是部件固有的。它們不是外來物質的標志預計不會對部件在服役中的性能產生不利影響。
深色密封元件-粘合門密封件(BDS)
Kalrez®9100粘合門密封件(BDS)中的密封元件顏色比Kalreze91000型深,原因有二:
1)與Kalrez91000型圈相比,Kalrez@9100 BDS在不同的標準操作條件下制造。
2)由于密封元件在至少一個或多個側面上與鋁粘合,因此通過它的光較少。在這兩種情況下,這都是一個顏色問題,即較暗的顏色并不意味著密封元件中存在異物,也不預期會對Kalrez®9100 BDS在服役中的性能產生不利影響。
