產(chǎn)品展廳
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Kalrez CP222 Dupont America 杜邦 密封圈 半導(dǎo)體 面板
- 英文名稱：Kalrez
- 品牌：Dupont America 杜邦
- 產(chǎn)地：美國(guó)
- 型號(hào)：美標(biāo)&日標(biāo)成品
- 價(jià)格： ￥137/個(gè)
- 發(fā)布日期： 2025-01-04
- 更新日期： 2025-02-04
產(chǎn)品詳請(qǐng)
| 品牌 | Dupont America 杜邦 |
| 貨號(hào) | |
| 用途 | DuPont? Kalrez? CP222 全氟橡膠零件是適用于獨(dú)特定制型材或大批量應(yīng)用的最新產(chǎn)品。 |
| 英文名稱 | Kalrez |
| 型號(hào) | Kalrez CP222 |
| 產(chǎn)品等級(jí) | |
| 包裝規(guī)格 | 美標(biāo)&日標(biāo)成品 |
| 外形尺寸 | 密封圈 定制尺寸形狀 |
| 原產(chǎn)地 | 美國(guó) |
| 生產(chǎn)企業(yè) | Dupont America 杜邦 |
| 是否進(jìn)口 | |
| 形狀 | 密封圈 |
Kalrez®
在惡劣環(huán)境中穩(wěn)定
專業(yè)密封設(shè)計(jì)用于關(guān)鍵任務(wù)應(yīng)用。
O-rings made with high-performance Kalrez®.
從航空航天和化學(xué)工業(yè)到芯片制程以及油氣應(yīng)用,杜邦™ Kalrez® 彈性體旨在提供更高的穩(wěn)定性,更高的抵抗力和更有效的密封。周期。
盡管杜邦沒有發(fā)明 O 形圈或特種密封膠,但它在創(chuàng)新和發(fā)展方面已有 40 年的歷史,創(chuàng)造出可承受 挑戰(zhàn)性的工作環(huán)境的密封膠。
除了其清潔度和純度外,Kalrez®聚合物分子鏈被設(shè)計(jì)為最惰性的聚合物結(jié)構(gòu)之一,可耐受 1800 多種不同的化學(xué)物質(zhì),同時(shí)提供高溫穩(wěn)定性。
Kalrez®全氟彈性體是按照 質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)制造的。每個(gè)部件都有記錄的可追溯性,并且這些部件具有行業(yè)內(nèi)最長(zhǎng)、最可預(yù)測(cè)的使用壽命之一。
Kalrez®零件經(jīng)過長(zhǎng)期驗(yàn)證性能可以減少密封件的更換,維修和檢查的頻率,增加了過程和設(shè)備的正常運(yùn)行時(shí)間,從而提高生產(chǎn)率和良率。
用途
泵、反應(yīng)釜和法蘭接頭的密封與 O 形圈
閥桿填料系統(tǒng)
用于航空航天、石油和天然氣設(shè)備、運(yùn)輸和化工的高性能零件
生命科學(xué)應(yīng)用
半導(dǎo)體加工
光伏制造密封件
食品接觸材料
優(yōu)勢(shì)
耐受 1800 多種化學(xué)物質(zhì)
高達(dá) 327°C 高溫耐受性
保持密封完整性
降低維護(hù)和運(yùn)營(yíng)成本
密封壽命長(zhǎng)
符合藥品和食品加工安全標(biāo)準(zhǔn)
提供標(biāo)準(zhǔn)和專用化合物,供定制使用
杜邦Kalrez®CP222全氣彈性體零件是用于獨(dú)特定制形狀或高產(chǎn)量應(yīng)用的 產(chǎn)品。Kalrez°CP222零件提供 的化學(xué)穩(wěn)定性和機(jī)械性能,并延續(xù)了杜邦提供高價(jià)值全氟彈性體零件以延長(zhǎng)平均修復(fù)間隔時(shí)間(MTBR)的傳統(tǒng)。
除了高流量0形環(huán)應(yīng)用外,Kalrez°CP222}可以在各種定制幾何形狀中制造,這些幾何形狀曾經(jīng)是全氣彈性體無法企及的?，F(xiàn)在,Kalrez®}部件可以設(shè)計(jì)成適合復(fù)雜的新設(shè)備,或者可以作為現(xiàn)有應(yīng)用的性能升級(jí)。
Kalrez°CP222通過提供具有獨(dú)特型材和光滑表面處理的要件,拓展了定制全氟橡膠要件的可能性。
耐化學(xué)性
對(duì)于許多應(yīng)用來說,彈性體的低體積膨脹對(duì)于設(shè)備的正常運(yùn)行至關(guān)重要。過度的膨脹可能會(huì)導(dǎo)致由于密封失效和潤(rùn)滑液體的泄漏而導(dǎo)致設(shè)備過早停機(jī)。體積膨脹是性能的良好預(yù)測(cè)指標(biāo);然而,還需要進(jìn)行其他物理性能測(cè)試來進(jìn)一步定義產(chǎn)品性能。
以下化學(xué)品代表了行業(yè)中一些 性的應(yīng)用。這些測(cè)試結(jié)果表明了性能;然而,所有應(yīng)用都是獨(dú)特的,強(qiáng)烈建議在實(shí)際工藝流體中進(jìn)行浸沒測(cè)試。
杜邦公司™卡爾雷茲粘合門密封件
密封設(shè)計(jì)+材料性能=更高的晶圓產(chǎn)量+更低的擁有成本
技術(shù)信息一2010年7月 0版
用于閘閥和狹縫閥門的密封門封提供了比傳統(tǒng)0型圈更好的密封性能,通過減少顆粒生成、延長(zhǎng)密封壽命和在預(yù)防性維護(hù)期間減少更換時(shí)間。
杜邦™“Kalrez°粘合門密封件設(shè)計(jì)簡(jiǎn)便,顆粒產(chǎn)生量低。它們結(jié)合了定制密封設(shè)計(jì)和專有的粘合技術(shù),以及Kalrez°9100,8002和KalrezSahara8085的出色的等離子體阻力。與傳統(tǒng)的0形環(huán)相比,密封件保持在“固定位置,從而消除了門驅(qū)動(dòng)過程中的“滾動(dòng)/扭動(dòng)”。此外,密封設(shè)計(jì)已優(yōu)化使用有限元分析(FEA),以盡量減少局部應(yīng)力的高濃度。因此,與傳統(tǒng)的0型環(huán)相比,顆粒生成和密封性能顯著提高。Kalrez粘合門密封件可在Kalrez®9100、8002和Kalrez®Sahara中使用。"8085*用于蝕刻、灰化/剝離、HDPCVD、PECVD、SACVD、金屬CVD和ALD芯片加工應(yīng)用。
典型應(yīng)用
閘閥、狹縫閥門和其他類似部件目前采用0形密封圈或燕尾密封。
與傳統(tǒng)0型圈相比,顆粒產(chǎn)生更低,密封壽命更長(zhǎng)·密封元件保持在“固定”位置,即在使用中消除“滾動(dòng)/扭曲”·Kalreze9100,8002和KalrezeSahara"8085用于最小化反應(yīng)等離子體中的粒子生成
·超純后清洗和包裝可減少不必要的污染
改進(jìn)的密封性能-一 設(shè)計(jì)可 限度地減少高濃度的局部應(yīng)力
與0型環(huán)密封在預(yù)防性維護(hù)期間相比,更換時(shí)間更短
·快速便捷地組裝/拆卸到安裝支架減少0型圈密封件常見的安裝問題
在預(yù)防性維護(hù)過程中無需清潔密封蓋
包裝上的條形碼加上封門密封件編號(hào),以及刻在商業(yè)上可獲得的封門密封件背面的Kalrez產(chǎn)品編號(hào),保持可追溯性和識(shí)別性,并確保它是一個(gè)Kalrez全氟彈性體部件(FFKM)。
有效杜邦™Kalrez° 鍵合門封適用于大多數(shù)半導(dǎo)體 OEM 設(shè)備平臺(tái)。此外,可以為大多數(shù)閘閥和狹縫閥門封應(yīng)用開發(fā)定制的 Kalrez° 鍵合門封。超純后清洗和包裝是所有 Kalrez° 鍵合門封的標(biāo)準(zhǔn)。請(qǐng)聯(lián)系杜邦高性能彈性體應(yīng)用工程師或授權(quán)的 Kalrez°分銷商,了解特定尺寸的可用性。
在Fab生產(chǎn)線上得到證明的性能
案例報(bào)告#6376-歐洲制造線,PECVD增值稅MONOVAT保稅門申請(qǐng)工藝化學(xué):三甲基硅烷(TMS)、氧氣
清潔化學(xué):通過遠(yuǎn)程等離子體源進(jìn)行NF3等離子·客戶報(bào)告的結(jié)果:在處理超過55,000對(duì)晶圓后,沒有報(bào)告Kalrez°9100VATMONOVAT*密封門性能問題?，F(xiàn)有的VAT MONOVAT*密封門(具有競(jìng)爭(zhēng)力的FFKM F4)在顯示顆粒生成之前僅使用了30,000對(duì)晶圓。
案例報(bào)告 #7174-美國(guó)Fab線,綜合ALD/鎢合金CVD縫隙閥門密封應(yīng)用工藝化學(xué):WFS,SiH4,H2,N2,Ar
清潔化學(xué): NF3 等離子體“原位”生成
·客戶報(bào)告的結(jié)果:客戶能夠使用Kalrez°9100粘合狹縫閥門密封件將PM周期從6,000片晶圓延長(zhǎng)至10,000片晶圓。由于密封壽命不一致,且由于顆粒生成而過早更換,現(xiàn)有粘合狹縫閥門密封件(競(jìng)爭(zhēng)性FFKM A11)的PM周期設(shè)定為6,000片晶圓。
案例報(bào)告#7153-日本FabLine,HDPCVD縫隙閥門密封應(yīng)用工藝化學(xué): SiH4,02,He
·清潔化學(xué):通過遠(yuǎn)程等離子體源產(chǎn)生 NF3 等離子
客戶報(bào)告的結(jié)果:Kalrez°8002 鍵合狹縫閥門密封件在大約20,000個(gè)晶圓中持續(xù)運(yùn)行,沒有報(bào)告任何性能問題現(xiàn)有密封件(競(jìng)爭(zhēng)性FFKM A11)在顯示真空泄漏之前僅持續(xù)12,000個(gè)晶圓(1個(gè)PM周期)。
案例報(bào)告#7640-日本FabLine,HPDCVD縫隙閥門密封應(yīng)用Process chemistry:SiH4,02,He,Ar,H2
清潔化學(xué): NF3 等離子體
·客戶報(bào)告的結(jié)果:Kalrez®8002}粘合式狹縫閥門密封件在15,000個(gè)晶圓周期內(nèi)沒有報(bào)告任何性能問題?，F(xiàn)有密封件在顯示顆粒生成和真空泄漏之前僅使用了10,000個(gè)晶圓。
案例報(bào)告#3786-歐洲Fab線,SACVD縫隙閥門密封應(yīng)用
過程化學(xué):TEOS,03,TEBO,TEP
客戶報(bào)告結(jié)果:Kalrez° 撒哈拉"“8085鍵合狹縫閥門密封在超過30,000個(gè)晶圓周期內(nèi)沒有報(bào)告任何性能問題?，F(xiàn)有的鍵合狹縫閥門密封(具有競(jìng)爭(zhēng)力的FFKM A11)在出現(xiàn)粒子生成之前僅持續(xù)了10,000個(gè)晶回循環(huán)
案例報(bào)告#7262-歐洲 Fab Line,SACVD MONOVAT®粘合門密封應(yīng)用·過程化學(xué):TEOS,03,TEBO,TEB
·客戶報(bào)告結(jié)果:沒有報(bào)告與KalrezeSahara}相關(guān)的性能問題"8085 VAT MONOVAT@在處理96000對(duì)晶圓后綁定門?，F(xiàn)有VATMONOVAT@綁定門(具有競(jìng)爭(zhēng)力的FFKMA18和F4)在出現(xiàn)粒子生成和真空泄漏之前僅能承受30,000對(duì)和60,000對(duì)晶圓。
案例報(bào)告#5791-馬來西亞Fab線,HDPCVD縫隙閥門密封應(yīng)用·工藝化學(xué):SiH4,02
清潔化學(xué): NF3 等離子體
·客戶報(bào)告結(jié)果:Kalrez°撒哈拉"8085鍵合狹縫閥門密封在12,000個(gè)晶圓中持續(xù)運(yùn)行,沒有任何性能問題報(bào)告。
現(xiàn)有的鍵合狹縫閥門密封(具有競(jìng)爭(zhēng)力的FFKM A18)在出現(xiàn)裂紋之前僅運(yùn)行了6.000個(gè)晶圓。
案例報(bào)告#8729-美國(guó)Fab生產(chǎn)線,鎢CVD縫隙閥門密封應(yīng)用
杜邦™ 卡萊克斯
全氟彈性體成分
在化學(xué)和環(huán)境苛刻環(huán)境下的可使用性和持久性
您可信賴杜邦密封解決方案"即使在最苛刻的工藝環(huán)境中
旨在提供 性能
40多年來,杜邦致力于改進(jìn)全氟彈性體元件的生產(chǎn)。彈性體元件通常由三個(gè)元素組成:聚合物鏈(彈性體的主要鏈),交聯(lián)系統(tǒng)(將聚合物鏈連接在一起,對(duì)彈性和密封性至關(guān)重要)和加載系統(tǒng)(用于提高機(jī)械性能)。由于其長(zhǎng)期的經(jīng)驗(yàn),杜邦將這三者結(jié)合在一起,提供 密封性。
減少揮發(fā)性持放物
Kalreze解決方案KalrezValveStem Packing系統(tǒng)有助于減少揮發(fā)性廢物的損失和排放,從而提高環(huán)保法規(guī)的合規(guī)性。通過保持完整的密封性,Kalrez組件降低了違反環(huán)境法的風(fēng)險(xiǎn)。
生產(chǎn)過程的純凈性
Kalrez組件有助于避免工藝污染:
.Resistendo alla degradazionea contatto con sostanzechimiche aggressive;
更低的維護(hù)成本
杜邦組件™Kalrez有助于增加平均維修時(shí)間(MTBR)并降低維護(hù)成本。它們的耐用性 限度地減少停機(jī)時(shí)間非編程機(jī)器,可延長(zhǎng)常規(guī)檢查和關(guān)鍵部件維修周期之間的時(shí)間。
*Mantenendo la forza di tenuta allealte temperature.in modo da ridurre
le perdite;
*Contenendo meno ingredienti che
vengono estratti nel processo;
Limitando il degassaggio nelle tenutesottovuoto:
更高的生產(chǎn)力
通過降低更換頻率,密封件的修理和檢查,增加工藝和設(shè)備的服務(wù)時(shí)間,提高生產(chǎn)力和產(chǎn)量。
更大的安全性
與其他彈性體相比,使用壽命更長(zhǎng),性能更好,Kalrez有助于降低由于密封件失效而導(dǎo)致的化學(xué)污染風(fēng)險(xiǎn)。
*Soddisfacendo le norme FDA piùsevere riguardanti purezza e igiene
通過IS0 9001認(rèn)證和可追溯4
Kalrez"組件僅由杜邦制造,完全集成的組件和模具制造商Vespel°,氟彈性體Vitone聚合物在合成橡膠氯丁橡膠,以及全氟彈性體組件。Kalrez組件在通過ISO 9001質(zhì)量認(rèn)證的工生產(chǎn),并以帶有條形碼的信封銷售,以確保完全可追溯性。
杜邦公司™Kalrez®為您的應(yīng)用需求提供各種產(chǎn)品
杜邦產(chǎn)品線"“Kalrez專為在苛刻的工藝環(huán)境中提供優(yōu)異的性能而設(shè)計(jì)。由于其高耐酸性,胺,超純?nèi)ルx子水,堅(jiān)固的基礎(chǔ)和高溫,Kalrez產(chǎn)品是任何應(yīng)用的理想解決方案。制造商可以提高其操作環(huán)境中的密封性能。
在食品和制藥行業(yè)的純度
關(guān)于食品和制藥行業(yè)的法規(guī)要求更高的關(guān)注和更嚴(yán)格的指導(dǎo)方針。產(chǎn)品安全。用于制藥應(yīng)用的Kalrez“組件確保與樹脂的清潔性和化學(xué)惰性是真正的彈性體。其熱性能和化學(xué)性能與橡膠相似。a.Kalrez為制藥行業(yè)提供新的保護(hù)水平,防止污染和泄漏。a。
使用高溫的工藝中密封的可靠性,攻擊性化學(xué)物質(zhì)和等離子體,
其他關(guān)鍵應(yīng)用
由于對(duì)燃料的耐受性非常強(qiáng)添加劑潤(rùn)滑劑;腐蝕性化學(xué)品和高溫,Kalrez組件已經(jīng)在航空航天鉆井應(yīng)用中使用,如今在最苛刻的環(huán)境中是 。不允許有密封泄漏的地方
在化學(xué)和碳?xì)浠衔锛庸ぶ心突瘜W(xué)品和高溫
在目前的化學(xué)和碳?xì)浠衔锛庸ぴO(shè)施中,在較高溫度下進(jìn)行,使用更長(zhǎng)的時(shí)間,并且涉及更具侵略性的產(chǎn)品。為了縮短平均維修時(shí)間(MTBR)并提高安全性,Kalrez組件是 。長(zhǎng)期以來,工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)是杜邦"“Kalrez4079但日益增長(zhǎng)的生產(chǎn)需求導(dǎo)致了更高性能的產(chǎn)品開發(fā)。今天,杜邦產(chǎn)品家族"卡爾需茲頻譜"擴(kuò)展Kalrez”4079組件的化學(xué)和熱性能,以 滿足這些應(yīng)用的規(guī)格。
電子產(chǎn)品
這些組件有助于降低晶圓加工的總運(yùn)行成本,光伏面板和液晶顯示器設(shè)備的制造工藝,提供更長(zhǎng)的保質(zhì)期和延長(zhǎng)平均維修時(shí)間。不兼容的保質(zhì)材料導(dǎo)致的非計(jì)劃維護(hù)可能會(huì)干擾生產(chǎn)計(jì)劃,導(dǎo)致機(jī)器停止。Kalrez”組件可以幫助改善
杜邦公司™^Kalrez®提供最廣泛的化學(xué)抗性
對(duì)超過1800種化學(xué)物質(zhì)具有 的抵抗力
杜邦全氟彈性體部件""Kalrezh具有幾乎普遍的化學(xué)抗性。抵抗超過1800種化學(xué)物質(zhì)的侵襲,溶劑和等離子體。常規(guī)使用Kalrez產(chǎn)品對(duì)于需要廣泛的耐化學(xué)性的所有應(yīng)用,不再需要將不同的產(chǎn)品存放在倉庫中,從而降低庫存成本。
最小膨脹量
化學(xué)物質(zhì)引起的膨脹可能導(dǎo)致O型圈和由其他輪胎制成的密封部件從密封槽外膨脹,最終導(dǎo)致密封件松動(dòng)。Kalrez°組件在暴露于各種產(chǎn)品時(shí),可承受顯著的膨聯(lián)
化學(xué)品和溶劑,包括濃縮的硝酸氫氧化鈉,乙二胺和蒸汽。
優(yōu)化化學(xué)阻力和密封性能
為了在特定應(yīng)用中 限度地提高密封性能,杜邦不斷開發(fā)新產(chǎn)品以滿足新的需求。在化學(xué)品和碳?xì)浠衔锛庸ゎI(lǐng)域,杜邦Kalrez@Spectrum產(chǎn)品系列"提供更高的耐化學(xué)性和更高的熱穩(wěn)定性。這種組合為公司提供了更大的操作空間,用于其他化學(xué)用途和更高的熱傳遞。有關(guān)Kalrez組件的化學(xué)兼容性更具體的信息,請(qǐng)聯(lián)系請(qǐng)參閱杜邦的“耐化學(xué)性指南”或Kalrez應(yīng)用指南,兩者都可以在我們的網(wǎng)站上找到,或聯(lián)系Kalrez部件的授權(quán)經(jīng)銷商
杜邦公司"“Kalrez®在高溫應(yīng)用和工藝中表現(xiàn)優(yōu)異
工作溫度高達(dá)327°C
即使長(zhǎng)時(shí)間暴露在高達(dá)327°C的溫度下,杜邦組件"Kalrez@比其他可用于高溫應(yīng)用的彈性體更好地保持其彈性和恢復(fù)性能。這些特性,加上幾乎普遍的化學(xué)抗性,它們使Kalrezdi組件能夠在非常廣泛的工藝環(huán)境中運(yùn)行。
保持密封性能
正如ISO3384測(cè)試所證明的,Kalrez組件在保持密封強(qiáng)度方面優(yōu)于其他彈性體,密封壽命的衡量標(biāo)準(zhǔn)。即使在惡劣和苛刻的條件下,i組件Kalrez更長(zhǎng)時(shí)間保持其密封強(qiáng)度。此外,由于具有與真橡膠相當(dāng)?shù)膹椥?i組件Kalrez@防止由塑料流動(dòng)引起的泄漏,聚四氟乙烯(聚四氟乙烯)有一個(gè)更大的問題。
壓縮套件已更換
Kalrez@組件具有較小的壓縮集,特性保證了長(zhǎng)期 的密封性。由于Kalrezhan組件在壓縮下比其他全氟彈性體更好的恢復(fù),即使在長(zhǎng)時(shí)間受力的情況下,它們也能更好地保持形狀。
杜邦公司™Kalrez®在涉及化學(xué)品和碳?xì)浠衔锏淖羁量坦に囍?延長(zhǎng)了平均維修時(shí)間和維護(hù)壽命
杜邦KalrezKVSP減少揮發(fā)性排放物并改善過程控制
Testato fino alla classe 600 secondo ANSl/FC191-1-1994
*Certificato secondo le norme TA Luft*Confo airequitidoma crettNa sumeattrezzature a presslone PED9T/23/EC
Kalrez”確保用于加工化學(xué)品和碳?xì)浠衔锏拿芊饧氖褂脡勖?
在泵、閥門、機(jī)械密封或分析設(shè)備中杜邦部件"“Kalrez年復(fù)一年地證明了其品質(zhì)。其對(duì) 侵蝕性的化學(xué)品和高溫的高耐性使其能夠抵抗膨脹和脆化,密封過早失效的主要原因之一。無論是O形圈,定制或系統(tǒng)形式閥桿包裝,i組件Kalrez”提高生產(chǎn)力,限制揮發(fā)性排放物并減少昂貴的密封泄漏4
減少摩擦與系統(tǒng)Kalrez閥桿包裝KVSP™
在手動(dòng)和自動(dòng)控制中,使用杜邦"卡爾雷茲®KV SPT杜邦Vespel支撐部件的V形環(huán)Kalreze組合物,可承受高達(dá)288°C的溫度,可提高閥門性能,降低維護(hù)成本并限制揮發(fā)性排放量至10 ppm以下。KalrezKVSP™無需維護(hù),是石墨和聚四氟乙烯密封系統(tǒng)的替代品。
減少摩擦,Kalrez°KVSP提高了過程控制的可變性,提高產(chǎn)量和產(chǎn)品質(zhì)量。摩擦數(shù)據(jù)表明,Kalrez?KVSP™提供與PTFE密封系統(tǒng)類似的性能。由于它們不需要對(duì)閥門進(jìn)行修改,安裝后很少需要調(diào)整,卡爾雷茲KVSPT“在閥門性能方面是一個(gè)重要的更新。
杜邦公司"“Kalrez°確保制藥過程的完整性和純度
其結(jié)合了熱性能和化學(xué)性能以及類似橡膠的密封性能,杜邦組件"Kalrez8為制藥行業(yè)提供了新的保護(hù)級(jí)別,防止工藝污染和粘合劑沉降。類似于PTFE用于清潔,熱和化學(xué)抗性Kalrezha通用密封材料的彈性和抗壓性,例如乙烯-丙烯聚合物(EPDM)。氟彈性體(EKM)和硅橡膠。已開發(fā)出Kalrez®neri和白色產(chǎn)品,以滿足特殊密封要求?，F(xiàn)代制藥和生物制藥生產(chǎn)流程,以提高純度及完整性。
符合FDA和USP標(biāo)準(zhǔn)
根據(jù)食品接觸通知證書FCN000101,美國(guó)食品和藥物管理局(FDA)已確認(rèn)Kalrez”6221和Kalrez°6230全氟彈性體成分符合直接與食品接觸的重復(fù)使用要求。該證書是FDA針對(duì)食品接觸物質(zhì)的上市前通知流程后頒發(fā)的,根據(jù)《聯(lián)邦食品法》第409(h)條的規(guī)定,《藥品和化妝品法》(21U.S.C.348(h))。這是FDA批準(zhǔn)使用食品接觸產(chǎn)品的主要工具。FCN000101規(guī)定材料的可提取性限制不得超過0.031毫克/平方厘米。指定的Kalrez°6221和Kalrez®6230產(chǎn)品已根據(jù)美國(guó)藥典VI類(USPVI類)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行測(cè)試,并符合要求。此外,指定產(chǎn)品Kalrez*符合FDA21CFR 1777.2600標(biāo)準(zhǔn)的要求。
使用杜邦組件在電子領(lǐng)域提供更高的性能"卡爾雷茲®
在電子領(lǐng)域,涂料受到影響性能的工藝條件的影響。幾乎完全的耐化學(xué)性和高耐高溫性使杜邦部件™“Kalrez@}幾乎可以用于任何涉及高溫的工藝應(yīng)用,包括所有類型的血漿。
除了 的耐化學(xué)性和熱穩(wěn)定性外,杜邦
卡爾雷茲“超純"“確保與反應(yīng)性等離子體和清洗氣體接觸時(shí)減少污染,真空密封性能更好,脫氣更少。此外,卡爾雷茲"超純部件"“在無塵環(huán)境中制造,在100級(jí)工作站上特別清潔和雙重包裝。
Kalrez"組件確保在具有侵略性等離子體的應(yīng)用中的長(zhǎng)期可靠性,沉積作用,熱處理應(yīng)用和
潮濕的,無論是晶圓加工,制造光伏電池板或液晶顯示設(shè)備的過程。
Kalrez組件可用作AS568標(biāo)準(zhǔn)0形圈,JIS和公制尺寸。此外,還提供粗片和特殊形狀,用于焊接密封件或定制開發(fā)。
在電子領(lǐng)域進(jìn)行實(shí)地實(shí)驗(yàn)
■使用高能氧等離子體焚燒爐生產(chǎn)超過50000個(gè)晶圓,無需更換噴嘴閥密封
在250°C的LPCVD氮化物管式爐中超過400個(gè)晶園(6個(gè)月)
在300”C的氮化物工藝中,與硅相比,密封件的使用壽命增加四倍,粘附性降低
■與其他全氟彈性體相比,在金屬酸攻擊過程中具有雙耐久性
與130°C等離子焚燒爐門密封件中的硅膠相比,密封件的使用壽命增加10倍
在100°C濕化學(xué)泵應(yīng)用中可提取的離子更少
用于液體顯示器加工的酸接合裝置的大型螺旋閥密封時(shí)間超過6個(gè)月
■在280°C擴(kuò)散爐應(yīng)用中的密封持續(xù)時(shí)間超過3個(gè)月
8個(gè)月的密封期(比競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的自定義密封期高35%%6)為杜邦"卡爾雷茲三葉""在TEOS PE-CVD工藝中
■在等離子體焚化爐中使用Kalrez密封件實(shí)現(xiàn)雙重使用壽命
■與競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的全氟彈性體在等離子焚燒爐淋浴間中的密封壽命相比,密封壽命長(zhǎng)8至14倍(超過3個(gè)月)
在PECVD閘閥應(yīng)用中,與競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的全氟彈性體相比,密封件的使用壽命長(zhǎng)一倍
使用CIF3清洗氣體在LPCVD中實(shí)現(xiàn) 性能(脫氣并產(chǎn)生更小的顆粒)
杜邦組件"“Kalrez@在其他 應(yīng)用環(huán)境中提供更好的性能
航空和航天工業(yè)
杜邦卡爾雷茲組件的耐高溫性能使其成為航空航天應(yīng)用的理想選擇?？柪灼?組件還能夠抵御航空航天中使用的侵蝕性流體的接觸,作為噴氣燃料,發(fā)動(dòng)機(jī)潤(rùn)滑油,液壓流體,火箭推進(jìn)劑和氧化劑。
石油和天然氣
Kalrez”組件即使在鉆并最惡劣的條件下也能正常工作,在高壓和高溫下,酸性氣體和腐蝕性液體。導(dǎo)致膨脹的熱量,腐蝕性液體和有毒氣體會(huì)破壞其他材料的物理特性和密封性能。
在超過40年的現(xiàn)場(chǎng)經(jīng)驗(yàn)中,應(yīng)用于:30多年來,Kalrez組件在以下應(yīng)用中表現(xiàn)出色:
·托管包裝機(jī)
車載輔助發(fā)電機(jī)
為了滿足工業(yè)界對(duì)能夠承受更惡劣操作環(huán)境的材料的需求,已經(jīng)開發(fā)出新一代的航空/航天工業(yè)材料。這些產(chǎn)品,杜邦公司"卡爾雷茲航空密封劑",提供出色的熱穩(wěn)定性和抗壓縮性,保持良好的密封強(qiáng)度。
閥座,框架,密封件,用于包裝機(jī),申T型管,U型密封件,每列記錄裝置,定制形狀
杜邦系統(tǒng)"Kalrez°值莖包裝™風(fēng)(KVSP)
定制解決方案-有限元分析(FEA)
有限元分析軟件提供單源分析能力。從設(shè)計(jì)新的鋼筋構(gòu)造與同步分析到優(yōu)化槽幾何FEA提供 的靈活性,縮短產(chǎn)品開發(fā)時(shí)間,將創(chuàng)新解決方案推向市場(chǎng)。
快速交貨
標(biāo)準(zhǔn)0型圈和庫存部件可在48小時(shí)內(nèi)交付,在提出請(qǐng)求和事先同意的情況下,在歐洲和北美的大多數(shù)目的地。欲了解更多信息,請(qǐng)聯(lián)系銷售代表和客戶支持。
任何想要的形狀
存在和可靠的分銷商網(wǎng)絡(luò)
卡爾雷茲組件。,可通過授權(quán)經(jīng)銷商的廣泛網(wǎng)絡(luò)迅速提供,提供技術(shù)支持,幫助您解決您的房地產(chǎn)問題。有關(guān)授權(quán)經(jīng)銷商的完整列表,請(qǐng)聯(lián)系杜邦。
·標(biāo)準(zhǔn)0形環(huán),尺寸為AS-568、Metric和JIS
TM 杜邦™卡爾瑞茲
全氟彈性體零件
用于光伏制造工藝
技術(shù)信息-2012年9月
提高運(yùn)行時(shí)間..
提高吞吐量...
更低的擁有成本..
隨著對(duì)光伏系統(tǒng)需求的增長(zhǎng),制造商必須找到增加正常運(yùn)行時(shí)間和提高產(chǎn)量的方法。通常,使用更激進(jìn)和高效的化學(xué)品和/或更高的溫度來增加吞吐量;從而對(duì)制造基礎(chǔ)設(shè)施造成更大壓力。由于不兼容的密封材料導(dǎo)致的計(jì)劃外維護(hù)可能會(huì)干擾生產(chǎn)計(jì)劃,導(dǎo)致停機(jī)時(shí)間。因此,無論是基于晶圓還是薄膜工藝的密封材料,都應(yīng)該具有廣泛的化學(xué)相容性和優(yōu)異的熱穩(wěn)定性。
杜邦“Kalrez全氟彈性體部件已在高度腐蝕性密封環(huán)境中進(jìn)行了30多年的現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證。Kalrez部件有助于提高在光伏工藝中的密封可靠性,這些工藝使用高溫、腐蝕性化學(xué)品和等離子體。Kalrez密封件能夠抵抗超過1,800種化學(xué)品:包括反應(yīng)性氣體和等離子體、堿、酸和溶劑。即使在接觸這些腐蝕性化學(xué)品的情況下,Kalrez密封件在高達(dá)325°C的溫度下仍能保持其彈性體特性。
杜邦 推出的密封產(chǎn)品,旨在提供 性選擇性干法工藝的升級(jí)選擇,優(yōu)于標(biāo)準(zhǔn)彈性體。W230提供了 的性能組合(對(duì)酸/堿的抗性),以及杜邦所期望的經(jīng)過驗(yàn)證的性能。™Kalrez°全氟彈性體部件。
在第2頁中,建議的 Kalrez產(chǎn)品可用于不同的光伏電池制造工藝以及多晶硅原料生產(chǎn)和減排系統(tǒng)。
光伏產(chǎn)品選擇指南
硅片基電池制造工藝
表面處理/清潔
卡爾雷茲W230
興奮劑卡爾雷茲PV8070
工藝類型
鋸片損傷去除表面處理和清潔
N-興奮劑
邊緣隔離
P 硅酸鹽去除
ARC涂層
其他工藝類型
多晶硅原料生產(chǎn)西門子技術(shù)
消減系統(tǒng)(“濕”洗滌器)
邊緣隔離
Kalrez®W23019100
P 硅酸鹽去除 Kalrez°
W230
ARC涂層Kalrezw230/9100
典型工藝環(huán)境
HF,稍酸,80°C濃統(tǒng)NaOH,KOH,IPA,HCI,熱水
850-900°C,氧化物噴射,原位氟酒洗
CF/02等離子體刻蝕
NaOH、KOH、HF、HNOHCI等SiH4,NHa,02等離子體PECVD或反應(yīng)濺射,原位NF3等離子清洗
典型工藝環(huán)境
TCS CVD沉積1100°C,SiHCI,HCI,赫茲
強(qiáng)酸/堿
金屬化
建議的杜邦產(chǎn)品
Kalrezo W230
Kalrez® P8070
Kalrez® W230/9100*
Kalrez® W230
Kalrez® W2309100
建議的杜邦產(chǎn)品
Kalreze W230PV8070
餷週婎觫敲鬚柘ぱ征lrezo W230
測(cè)試分院
薄膜電池制造工藝
返回聯(lián)系方式
模式化激光雕刻
工藝類型
細(xì)胞層沉積/吸收器
Amorphous/Micro-CrystallineSilicon
CIS/CIGS。擴(kuò)散
。Cds緩沖沉積
oCu(In,GA)濺射
·碲化鎘
o單側(cè)激活
o鎘蝕刻
oCds緩沖區(qū)沉積
TCO沉積/前接觸
細(xì)胞層沉積
產(chǎn)品見下文
圖案化激光書寫
TCO沉積見下文關(guān)于產(chǎn)品。
典型工藝環(huán)境
SiH4,Hz,等離子體PECVD,遠(yuǎn)程N(yùn)F3等離子清洗
500-550”C,氫硒,H2S擴(kuò)散65°C溶于NH40H中的Cd和S鹽400-600℃,真空
400°C,CdClz溶于甲醇,濃H3PO4,硝酸65°C,鎘和硫鹽溶于NHOHZn0反應(yīng)濺射二乙基鋅(DEZ)MOCVD
圖案化激光書寫
鐺凝措試分院
建議的杜邦產(chǎn)品
Kalrez8 W2309100*
Kalrezs W230PV8070*
Kalrez® W230Kalrez® W230
Kalrez® W230Kalrez® W230Kalrez® W230Kalrez® W230
Kalrezs W230VPV8070*
請(qǐng)聯(lián)系Kalrez應(yīng)用工程師,以獲取此應(yīng)用中 的產(chǎn)品
杜邦Kalrez@W230光伏產(chǎn)品的推薦產(chǎn)品Kalrez°W230 全氟彈性體部件是一種黑色產(chǎn)品,適用于需要廣泛化學(xué)耐性的 PV 濕法和選擇性濕法制造工藝。W230提供了極好的性能組合(耐酸/堿),是PV濕法工藝的升級(jí)選擇,作為標(biāo)準(zhǔn)彈性體的替代品。建議 連續(xù)使用溫度為 230°C。杜邦™卡雷茲Kalrez°PV8070全氟彈性體部件是黑色產(chǎn)品,適用于需要高溫抗性的PV電池制造過程。它表現(xiàn)出優(yōu)異的耐熱穩(wěn)定性,并具有優(yōu)良的(低)壓縮變形和脫氣性能。它還具有良好的抗氯氣和氟氣以及其他干法工藝化學(xué)品的性能。KalrezPV8070具有優(yōu)異的機(jī)械強(qiáng)度性能,非常適合靜態(tài)和動(dòng)態(tài)密封應(yīng)用。建議的 連續(xù)使用溫度為325°C。短期游覽高溫地區(qū)也是可能的。
杜邦公司:卡爾雷茲9100Kalrez°9100全氟彈性體部件是一種琥珀色半透明產(chǎn)品,用于邊緣隔離、ARC涂層和要求耐氟等離子體的光伏電池制造工藝,包括非晶硅/微晶硅薄膜淀積。在基于氟的等離子體(如 NF3、F2)中,它表現(xiàn)出極低的重量損失和超低的粒子生成。它還具有優(yōu)異的耐干法化學(xué)性,并具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性、壓縮設(shè)定和排氣性能。Kalrez°9100具有良好的機(jī)械強(qiáng)度特性,非常適合靜態(tài)和動(dòng)態(tài)密封應(yīng)用。建議的 連續(xù)使用溫度為300°C。
杜邦公司™卡萊茲全氟橡膠零件
半導(dǎo)體工業(yè)中的等離子體過程
杜邦"Kalrez*全氟彈性體部件已在高度腐蝕性密封環(huán)境中成功使用超過40年。Kalrez*部件具有優(yōu)異的化學(xué)和熱穩(wěn)定性并經(jīng)過特別配方和加工,以滿足晶圓處理環(huán)境的獨(dú)特要求。杜邦Kalrez密封件提供標(biāo)準(zhǔn)尺寸和定制尺寸的0形環(huán),以及滿足等離子體環(huán)境中品圓處理嚴(yán)格要求的可定制形狀。在半導(dǎo)體行業(yè)使用的所有Kalrez°}產(chǎn)品都采用專有超凈工藝和潔凈室處理作為標(biāo)準(zhǔn)。
等離子體過程的產(chǎn)品選擇
下表為根據(jù)生產(chǎn)工藝類型選擇 Kalrez%要件提供了一個(gè)快速簡(jiǎn)便的工具:
工藝類型
HDPCVD
PECVD /PEALD
PECVD固化工藝
SACVD /FCVD
導(dǎo)體(聚合物/金屬)蝕刻
介電(氧化物)蝕刻
灰燼/碎屑
使用溫庶
250°C至300°C
275°C至310°C
150°C至200°C
280°C至300°C
150°C至225°C
100℃C至180°C
180°C至250°C
典型化學(xué)品
TMS,DEMS,TEOS,SiH,,NH,SiF4,0,,N,O,CF,NF
TMS,DEMS,TEOS,SiH,
NH,SiF,O,N,O,CF.NF
05+紫外線
TEP,TEBO,TEOS,O,NF,NH,
CF4,CHF,,HBr,BCL,CCLZ,CL
NF
CF ,CF CHF SF .O..H
O,,CF,CHF,NH,,水
蒸汽,H“形成氣體
建議產(chǎn)品
Kalrez”9100/9500
Kalrez*9600
Kalrez*87052
Kalrez°9500
Kalrez”9500/9600
Kalrez*9100/9300
卡爾雷茲9300
Kalrez*9300/8002
當(dāng)前Kalrez@產(chǎn)品適用于等離子體應(yīng)用
卡爾雷茲9600Kalrez°9600 部件專為高純度、高溫真空應(yīng)用而設(shè)計(jì),在這些應(yīng)用中,密封件會(huì)暴露在具有破壞性的氟和氧等離子體自由基中。它具有極低的等離子體攻擊侵蝕率和重量損失,對(duì)氨、臭氧和水蒸汽具有良好的化學(xué)抗性。它在壓縮時(shí)的 彈性和在高溫條件下的超低出氣率使其特別適用于純度至關(guān)重要的應(yīng)用,如等離子體增強(qiáng)原子層沉積和化學(xué)氣相沉積工黨
Kalrez*9500Kalrez® 9500 部件專門針對(duì)使用臭氧、氨和水蒸氣進(jìn)行加工的沉積工藝而設(shè)計(jì),例如SACVD、FCVD、PECVD 固化工藝等。它專門設(shè)計(jì)用于等離子體環(huán)境更“化學(xué)”的應(yīng)用,即氧和氟原子基更占優(yōu)勢(shì)的應(yīng)用。Kalrez°9500還具有出色的熱穩(wěn)定性、極低的氣體逸出和優(yōu)異的機(jī)械強(qiáng)度,非常適合靜態(tài)和動(dòng)態(tài)密封應(yīng)用。
卡爾雷茲”9300
Kalrez@9300 部件專為介電(氧化物)蝕刻應(yīng)用而設(shè)計(jì)。它特別設(shè)計(jì)用于等離子體環(huán)境為離子(“物理”)和自由基(“化學(xué)”)組合的應(yīng)用,即通常需要平衡“物理”和“化學(xué)等離子體耐蝕性的應(yīng)用。Kalreze9300 表現(xiàn)出對(duì)氧和氟基等離子體和蝕刻工藝化學(xué)的出色耐性。它還具有非常低的金屬含量、優(yōu)異的熱穩(wěn)定性和機(jī)械強(qiáng)度,非常適合靜態(tài)和動(dòng)態(tài)密封應(yīng)用。
卡爾雷茲”9100Kalrez®9100部件專門針對(duì) PECVD、ALD、HDPCVD 和導(dǎo)體(聚/金屬)蝕刻應(yīng)用而設(shè)計(jì)Kalrez®9100 專門設(shè)計(jì)用于惡劣等離子體環(huán)境中的低磨損和超低粒子生成。它提供優(yōu)異的耐熱穩(wěn)定性、非常低的氣體逸出以及優(yōu)異的彈性恢復(fù)和良好的機(jī)械強(qiáng)度特性,非常適合靜態(tài)和“選擇”動(dòng)態(tài)密封應(yīng)用。
卡爾雷茲”8002Kalrez°8002部件是用于灰/帶應(yīng)用的透明產(chǎn)品。與礦物填充產(chǎn)品相比,這種未填充的產(chǎn)品在氧氣和氟化物基等離子體中具有優(yōu)異的抗等離子體開裂性能和極低的粒子生成。Kalrez8002表現(xiàn)出優(yōu)異的干法化學(xué)抗性,具有良好的機(jī)械強(qiáng)度,非常適合靜態(tài)、低應(yīng)力/低密封力以及“選擇”粘合門密封應(yīng)用。
卡爾雷茲*8705Kalrez®8705 全氟彈性體部件主要設(shè)計(jì)用于常規(guī)光源或等離子體發(fā)出的高能紫外線(UV)輻射的直接路徑中的密封位置。它們還具有良好的抗高濃度破壞性自由基的能力,以及在高溫真空應(yīng)用中的 密封功能。它們極低的粘附力使其成為密封石英表面的理想選擇,如紫外線固化室中的石英窗和光致抗蝕劑帶設(shè)備中的石英管,不會(huì)留下不想要的殘留物。
杜邦公司™卡萊茲全氟橡膠零件
半導(dǎo)體工業(yè)中的熱過程
杜邦™Kalrez°全氟彈性體部件已在高度腐蝕性密封環(huán)境中成功使用超過40年。Kalrez的部件具有優(yōu)異的化學(xué)和熱穩(wěn)定性,并經(jīng)過特別配方和處理,以滿足晶圓處理環(huán)境的獨(dú)特要求。杜邦Kalrez)密封件提供標(biāo)準(zhǔn)尺寸和定制尺寸的0形環(huán),以及定制形狀,以滿足熱環(huán)境中品圓處理的高要求。在半導(dǎo)體行業(yè)使用的所有Kalrez)產(chǎn)品均采用專有超凈工藝和潔凈室處理作為標(biāo)準(zhǔn)。
熱過程產(chǎn)品選擇器
下表為根據(jù)生產(chǎn)工藝類型選擇 Kalrez®要件提供了一個(gè)快速簡(jiǎn)便的工具:
工藝類型
ALD/LPCVD/金屬CVD
氧化/硝化/擴(kuò)散
燈退火 /RTP
晶圓表面制備
使用溫度
250°C至300°C
280°C至300°C
250℃C至275°C
200°C至275°C
典型化學(xué)品
WF,TiCL,SIHHF,F.CL,O,HO蒸汽,CIF,
NO..H 0Vapor,HCI,CL,O,
紅外光、0、H、O蒸氣
NF.NH, HF, F,H,
建議產(chǎn)品
Kalrez*8900/7075UP
Kalrez 7075UP/8900
卡爾雷茲’8575
卡爾雷茲”9500/9600
1請(qǐng)咨詢Kalrez°應(yīng)用指南和/或您的Kalrez"代表,以評(píng)估性能是否適合您的具體應(yīng)用
熱過程的典型應(yīng)用:
石英室密封件
愨使鐮柄劇躁戯鉦莉
中心環(huán)
低介電固化工藝
當(dāng)前Kalrez°產(chǎn)品適用于熱應(yīng)用
卡爾雷茲”8900Kalrez“8900”部件適用于氧化、擴(kuò)散、ALD和LPCVD應(yīng)用。它提供 的耐熱穩(wěn)定性、非常低的析氣率和優(yōu)異的(低)壓縮回彈特性。Kalrez*8900}部件在高溫下表現(xiàn)出優(yōu)異的物理性能保持能力,具有優(yōu)異的機(jī)械強(qiáng)度,非常適合靜態(tài)和動(dòng)態(tài)密封應(yīng)用。
叢黃聶標(biāo)脩鍆嗒棲廡棛霊睪?ма37390901002412011D14115010138 280 150
Kalrez”8900 零件:非常低的外形與兼容的 FFKM 產(chǎn)品相比
卡爾雷茲”8575
Kalrez®8575部件適用于氧化、擴(kuò)散、燈退火和實(shí)時(shí)傳輸協(xié)議密封應(yīng)用。Kalrez°8575具有優(yōu)異的耐熱穩(wěn)定性和長(zhǎng)期密封性能,紅外(IR)吸收少,在高溫下排氣性能顯著降低。它還具有良好的機(jī)械性能,適用于靜態(tài)和低應(yīng)力/低密封力應(yīng)用。
Kalrez”7075UPKalrez°7075UP 零件專門用于金屬 CVD 應(yīng)用。它們具有出色的熱穩(wěn)定性、極低的析氣率和優(yōu)異的壓縮回彈特性。Kalrez°7075UP表現(xiàn)出優(yōu)異的密封力保持能力,具有良好的機(jī)械性能,非常適合靜態(tài)和動(dòng)態(tài)密封應(yīng)用。
Kalrez*8575 部分
超純后清潔和包裝是所有由Kalreze7075UP制造的零件的標(biāo)準(zhǔn)配置,
Kalrez* 7075UP O型圈
Kalrez 9500Kalrez@ 9500 部件專門針對(duì)使用臭氧、氨和水蒸氣進(jìn)行加工的沉積工藝而設(shè)計(jì),例如SACVD、FCVD、PECVD 固化工藝等。它專門設(shè)計(jì)用于等離子體環(huán)境更“化學(xué)”的應(yīng)用,即氧和氟原子基更占優(yōu)勢(shì)的應(yīng)用。Kalrez"9500還具有出色的熱穩(wěn)定性、極低的氣體逸出和優(yōu)異的機(jī)械強(qiáng)度,非常適合靜態(tài)和動(dòng)態(tài)密封應(yīng)用。
Kalrez" 9500件基于專有的交聯(lián)系統(tǒng)
該系統(tǒng)僅由杜邦提供。
Kalrez 9600Kalrez®9600 部件專為高純度、高溫真空應(yīng)用而設(shè)計(jì),在這些應(yīng)用中,密封件會(huì)暴在具有破壞性的氟和氧等離子體自由基中。它具有極低的等離子體攻擊侵蝕率和重量損失,對(duì)氨、臭氧和水蒸汽具有良好的化學(xué)抗性。它在壓縮時(shí)的 彈性和在高溫條件下的超低出氣率使其特別適用于純度至關(guān)重要的應(yīng)用,如等離子體增強(qiáng)原子層沉積和化學(xué)氣相沉積工藝。
Kalrez° 9600 0型園
杜邦公司”卡爾雷茲
半導(dǎo)體硅片加工用彈性密封件的泄氣特性
技術(shù)文獻(xiàn)-在AVS研討會(huì)上的論文,2009年11月
大多數(shù)集成電路制造工藝都在高真空或超高真空規(guī)定的范圍內(nèi)對(duì)于確保 工藝效率、均勻性和一真空泵是維持足夠真空水平以進(jìn)行加工的主要機(jī)制方面可以發(fā)揮作用。更重要的是控制腔室內(nèi)工藝環(huán)通常可以補(bǔ)償由于密封放氣引起的真空水平變化成分的潛在有害變化。由于放氣引起的腔內(nèi)分壓變?cè)茐哼^程中的質(zhì)量問題。
一般來說,人們普遍認(rèn)為彈性體比金屬更容易逸出氣體。在許多超高真空系統(tǒng)中,使用金屬密封件來避免這個(gè)問題。然而,金屬密封件并不總是有效和/或?qū)嵱谩Ｊ褂媒饘倜芊饧囊恍├щy包括:
安裝困難
昂貴
Non-reusable
動(dòng)態(tài)應(yīng)用中的密封性能較差
石英和陶瓷密封應(yīng)用中部件損壞的可能性
因此,真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)師和工藝工程師了解彈性密封件的脫氣特性非常重要。目前,沒有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)來測(cè)量和表征彈性密封件的脫氣性能,可用的有用數(shù)據(jù)有限。
本研究通過杜邦開發(fā)的一種測(cè)試方法,評(píng)估和比較了三種不同類別的彈性密封材料在半導(dǎo)體工藝環(huán)境中的析氣特性。表1列出了評(píng)估的產(chǎn)品/材料。
表1.評(píng)估的材料
彈性體分類
全氟橡膠
全氟橡膠
氟橡膠
硅酮
參考文獻(xiàn)識(shí)別
杜邦公司™ Kalrez°8900
杜邦公司™Kalrez°8475
FKM-K7
VMQ-T1
聚合物類型
TFE/PMVE
TFE/PMVE
VF?/HFP
甲基二硅氧烷
填充系統(tǒng)
碳黑
二氧化硅/金屬氧化物
系統(tǒng)
雜環(huán)
雜環(huán)
碳黑
二氧化硅
雙酚
有機(jī)過氧化物
*FKM 和 VMO 是ASTM 標(biāo)記的彈性體類別。K7和T1是杜邦內(nèi)部參考。
開發(fā)的測(cè)試方法和相關(guān)設(shè)備使用殘留氣體分析儀(四極質(zhì)譜儀的一類術(shù)語)來評(píng)估彈性體的脫氣性能其他用于脫氣分析的測(cè)試方法/分析設(shè)備有時(shí)是TGA-FTIR或質(zhì)譜法,以及頂空GC質(zhì)譜法。雖然這些技術(shù)很有用,但它們有一些局限性和缺點(diǎn)。表2比較了每種測(cè)試方法的能力。
表2.排氣試驗(yàn)方法比較
測(cè)試能力
真空下的測(cè)量
溫度控制
民進(jìn)黨方法RGA/QMS*
是的,特高壓”
可編程的
分析溫度330“C氣體種類分析方法(帶電子倍增器)質(zhì)量管理體系
定量結(jié)果
總排放速率(噸·升/秒/厘米2)
TGA-FTIR/MS熱
重分析
不,1臺(tái)自動(dòng)取款機(jī)
可編程的
1000“C
MS或FTIR
體重減輕百分比
HS-GC/MS頭空
間氣相色譜法
不,1臺(tái)自動(dòng)取款機(jī)
等溫的
230“C
GCIIMS
難以獲得(需要昂貴的校準(zhǔn))
超高真空,1x10&torr"QMS=Quadrupole Mass Spectrometer
杜邦測(cè)試方法的主要優(yōu)點(diǎn)是在代表典型半導(dǎo)體工藝的環(huán)境中獲得定量放電數(shù)據(jù)的能力。
本文介紹了杜邦開發(fā)的測(cè)試方法,比較了三種常用彈性體(表1)的脫氣數(shù)據(jù),并討論了這些數(shù)據(jù)如何用于協(xié)助設(shè)備和工藝工程師。測(cè)量和比較的特征包括總脫氣率作為溫度的函數(shù)和給定溫度下的總脫氣率作為時(shí)間的函數(shù)。此外,該方法和設(shè)備允許分析/監(jiān)測(cè)與每種速率測(cè)試中的物質(zhì)質(zhì)量電荷比(M/z)相關(guān)的特定氣體物種。
2.0實(shí)驗(yàn)程序
杜邦開發(fā)的協(xié)議涉及設(shè)備和測(cè)試方法,能夠測(cè)量彈性體在類似于典型半導(dǎo)體加工應(yīng)用條件下的脫氣特性。它允許確定總脫氣速率與時(shí)間和溫度的關(guān)系,并在真空下監(jiān)測(cè)樣品釋放的特定氣體種類。
由于彈性體通常是根據(jù)其化學(xué)耐性和熱穩(wěn)定性與使用要求的組合來選擇的,因此初始測(cè)試比較了每種材料在溫度增加時(shí)的脫氣特性。在這些測(cè)試中,很明顯有必要在兩個(gè)階段測(cè)量脫氣率與溫度的測(cè)試。在初始加熱階段(從約50°C到>300C),一些材料脫氣,使得腔室內(nèi)的局部壓力增加到>1x10 4托。 在這種偏壓下,無法使用能夠提高離子電流/氣體種類檢測(cè)靈敏度的電子倍增器。
此外,由于評(píng)估的三種材料中有兩種通常不建議在高于約200°C的情況下連續(xù)使用,因此分兩階段進(jìn)行了脫氣特性測(cè)試。 階段測(cè)試在約50°C至200°C的范圍內(nèi)進(jìn)行。在真空下冷卻至約50°C后, 階段在同一樣品上從約50°C至330°C進(jìn)行。采用這種方法可以更準(zhǔn)確地監(jiān)測(cè)(并更全面地了解)脫氣機(jī)制。圖1顯示了脫氣測(cè)試設(shè)備。
圖1.殘留氣體分析器/排氣試驗(yàn)設(shè)備
2.1樣品的制備
AS568A尺寸為214的0形環(huán)與表1中列出的每種材料相對(duì)應(yīng)。每個(gè)0形環(huán)都被稱重。然后收集0形環(huán)的1/16部分,用于評(píng)估。在樣品制備過程中,注意避免可能的污染,因?yàn)樘幚砜赡軙?huì)影響放氣結(jié)果。將樣品放入石英舟中,然后將石英舟放入石英樣品管中(見圖2)。
2.2測(cè)試設(shè)備的設(shè)置與運(yùn)行
在對(duì)任何彈性體樣品進(jìn)行評(píng)估之前,系統(tǒng)通過允許其泵壓兩周左右來調(diào)節(jié),以確保系統(tǒng)清潔且無污染物。關(guān)閉閥門#2后,使用渦輪分子泵(TMP)泵壓至約2x10°托。在進(jìn)行出氣測(cè)試之前,將真空保持在這一水平12小時(shí)。初始調(diào)節(jié)后,TMP連續(xù)運(yùn)行,直到測(cè)試完成。在閥門#2仍然關(guān)閉的情況下,將包含樣品的石英管緊固到位。使用一個(gè)Conflat密封件銅金屬密封件)來確保任何氣體逸出都只來自評(píng)估樣品。一旦石英管就位,打開閥門#3并使用干泵將石英樣品室抽至1x10"托爾的真空水平。
2.3 定量和定性排氣測(cè)量與表征2.3.1.脫氣速率與溫度的關(guān)系( 階段)-通過關(guān)閉閥門#3并打開閥門#2,系統(tǒng)被允許平衡(P1=P2~1x107托)。離子計(jì)1和離子計(jì)2(真空室)之間的真空管線具有0.0005升/秒的傳導(dǎo)系數(shù)。使用此傳導(dǎo)系數(shù),脫氣流量的計(jì)算如下
Q=C(P2-P1),其中
Q=氣體流量(轉(zhuǎn)/升/秒)
C=導(dǎo)電系數(shù)與管徑和長(zhǎng)度成正比=.005升/秒。
P2=離子計(jì)2處的壓力讀數(shù)(扭矩)
P1=離子計(jì)#1處的壓力讀數(shù)(扭矩)
由于樣品以受控速率(1°C/min)加熱,從彈性體中逸出的氣體導(dǎo)致P2發(fā)生變化,從而計(jì)算出產(chǎn)生的流量。將產(chǎn)生的流量除以評(píng)估樣品的表面積,得到每平方厘米表面積逸出流量(托-升/秒/平方厘米),將流量繪制成與石英管溫度的關(guān)系圖,間隔20℃。石英管加熱器升至200℃℃。在閥門#2仍然打開的情況下,樣品被允許冷卻至約50°C,并在夜間保持該溫度。
2.3.2 析氣速率與溫度的關(guān)系( 階段)-在樣品冷卻過夜后,重復(fù)該步驟;然而將溫度以2°C/min的速度升至330°C。在此期間,計(jì)算并繪制了析氣速率與石英管溫度的關(guān)系圖。
2.3.3 在指定溫度(275°C)下的析氣速率與時(shí)間-對(duì)于此測(cè)試,按照第2.1節(jié)所述制備新樣品。重復(fù)第2.3.1節(jié)所述的順序;然而,將溫度以4°C/min的速度升至275°C,并在275°C下保持21小時(shí)。在此期間,計(jì)算析氣流量并繪制與時(shí)間的關(guān)系圖。
2.3.4析出氣體的定性和半定量分析---在第2.3.1至2.3.3節(jié)概述的每一次放氣速度試驗(yàn)中,均使用四極質(zhì)譜儀對(duì)析出氣體進(jìn)行分析。根據(jù)適當(dāng)?shù)碾姾少|(zhì)量比(M/z),繪制了選定氣體種類的相對(duì)強(qiáng)度與溫度或時(shí)間的關(guān)系圖。這與每種材料的排氣速率曲線相結(jié)合,提供了一種半定量的測(cè)量方法,并對(duì)演變的氣體種類進(jìn)行了比較。雖然可以監(jiān)測(cè)所有產(chǎn)生的氣體種類,但只監(jiān)測(cè)并繪制了通常與吸收/產(chǎn)生的大氣氣體(H20、02、N2/CO和CO2)逸出相關(guān)的氣體種類,以及與交聯(lián)或熱分解相關(guān)的氣體復(fù)合物。對(duì)于測(cè)試的全氟彈性體和氟彈性體,這些是HF、CF2H、CF3和C2F3;對(duì)于硅樣本,這些是(CH3)3-Si和(CH3)3-Si-0-Si-(CH3)3.
用于分析的質(zhì)諾儀的規(guī)格如下:
制造商:
型號(hào):
纖維類型:
大規(guī)模分解:
探測(cè)器:
敏感性:
最小可探測(cè)部分壓力:
安爾瓦M(jìn)-QA100TS鎢M/delta M2M
CEM(電子乘數(shù))
3.8 A/Pa(CEM)用于N2
1堪.0 E-12 Pa
相對(duì)離子強(qiáng)度數(shù)據(jù)以對(duì)數(shù)尺度繪制。從數(shù)據(jù)中進(jìn)行了許多觀察,以幫助理解每種材料的速率性能差異以及導(dǎo)致這種差異的氣體物種的身份。
在所有監(jiān)測(cè)的氣體種類中,M/z=18(H20)對(duì)每種材料的振幅度 。隨著溫度的升高,杜邦的H20離子強(qiáng)度"Kalrez°8475和FKM-K7比杜邦高出一個(gè)數(shù)量級(jí)Kalrez°8900和VMQ-T1。這似乎是造成排氣速率差異的主要原因。
按離子強(qiáng)度順序排列的下一組氣體包括吸收/進(jìn)化的大氣氣體(N2,02,CO,二氧化碳
離子強(qiáng)度 的氣體與熱降解有關(guān)。這些氣體是全氟橡膠和氣橡膠的HF和CF絡(luò)合物,以及硅酮的CH3-Si絡(luò)合物。
數(shù)據(jù)顯示,所有測(cè)試的材料類別都會(huì)吸收大氣中的氣體(主要是水分),這些氣體會(huì)在加熱時(shí)逸出。它還表明,同一材料類別(Kalrez°8900和8475)的逸出性能可能會(huì)受到配方/混合差異的影響。
3.2 階段排氣(50°C至330°C)
圖10顯示了圖9顯示了所有四種材料在 階段的總放氣速率與溫度數(shù)據(jù)。為了比較,目使用與圖9中 階段數(shù)據(jù)一致的垂直刻度重新繪制的 階段速率數(shù)據(jù)。
關(guān)于 階段結(jié)果以及 階段和 階段之間關(guān)系的意見和評(píng)論是:
·在 次加熱上升周期中,所有四種材料的析氣速率保持非常低且平穩(wěn),直到達(dá)到約200°C。這表明,一旦材料暴露在特定溫度下并在真空中允許析氣,其性能將保持穩(wěn)定,直到引入更高溫度以引發(fā)進(jìn)一步反應(yīng)。從200°C到330℃,杜邦"Kalrez®8900和 8475 的析氣率 ,而VMQ-T1和 FKM-K7 的析氣率顯著增加。這符合與標(biāo)準(zhǔn)氟橡膠和硅酮相關(guān)的公認(rèn)的熱限制。
· 階段和 階段的速率曲線比較表明,在大約200°C時(shí),Kalrez°8475}和VMO-T1的速率性能之間存在交叉點(diǎn)。Kalrez°8475}以乎表現(xiàn)出較高的初始脫氣,這可能是因?yàn)槠涮盍舷到y(tǒng)的吸濕性更強(qiáng)。然而,隨著溫度的升高,VMQ-T1的熱限制導(dǎo)致其以比Kalrez° 8475}更高的速率脫氣。
圖11、12、13和14分別顯示了Kalrez°8475、Kalrez°8900、FKM-K7和VMQ-T1的選擇性離子強(qiáng)度數(shù)據(jù)。
在惡劣環(huán)境中穩(wěn)定
專業(yè)密封設(shè)計(jì)用于關(guān)鍵任務(wù)應(yīng)用。
O-rings made with high-performance Kalrez®.
從航空航天和化學(xué)工業(yè)到芯片制程以及油氣應(yīng)用,杜邦™ Kalrez® 彈性體旨在提供更高的穩(wěn)定性,更高的抵抗力和更有效的密封。周期。
盡管杜邦沒有發(fā)明 O 形圈或特種密封膠,但它在創(chuàng)新和發(fā)展方面已有 40 年的歷史,創(chuàng)造出可承受 挑戰(zhàn)性的工作環(huán)境的密封膠。
除了其清潔度和純度外,Kalrez®聚合物分子鏈被設(shè)計(jì)為最惰性的聚合物結(jié)構(gòu)之一,可耐受 1800 多種不同的化學(xué)物質(zhì),同時(shí)提供高溫穩(wěn)定性。
Kalrez®全氟彈性體是按照 質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)制造的。每個(gè)部件都有記錄的可追溯性,并且這些部件具有行業(yè)內(nèi)最長(zhǎng)、最可預(yù)測(cè)的使用壽命之一。
Kalrez®零件經(jīng)過長(zhǎng)期驗(yàn)證性能可以減少密封件的更換,維修和檢查的頻率,增加了過程和設(shè)備的正常運(yùn)行時(shí)間,從而提高生產(chǎn)率和良率。
用途
泵、反應(yīng)釜和法蘭接頭的密封與 O 形圈
閥桿填料系統(tǒng)
用于航空航天、石油和天然氣設(shè)備、運(yùn)輸和化工的高性能零件
生命科學(xué)應(yīng)用
半導(dǎo)體加工
光伏制造密封件
食品接觸材料
優(yōu)勢(shì)
耐受 1800 多種化學(xué)物質(zhì)
高達(dá) 327°C 高溫耐受性
保持密封完整性
降低維護(hù)和運(yùn)營(yíng)成本
密封壽命長(zhǎng)
符合藥品和食品加工安全標(biāo)準(zhǔn)
提供標(biāo)準(zhǔn)和專用化合物,供定制使用
杜邦Kalrez®CP222全氣彈性體零件是用于獨(dú)特定制形狀或高產(chǎn)量應(yīng)用的 產(chǎn)品。Kalrez°CP222零件提供 的化學(xué)穩(wěn)定性和機(jī)械性能,并延續(xù)了杜邦提供高價(jià)值全氟彈性體零件以延長(zhǎng)平均修復(fù)間隔時(shí)間(MTBR)的傳統(tǒng)。
除了高流量0形環(huán)應(yīng)用外,Kalrez°CP222}可以在各種定制幾何形狀中制造,這些幾何形狀曾經(jīng)是全氣彈性體無法企及的?，F(xiàn)在,Kalrez®}部件可以設(shè)計(jì)成適合復(fù)雜的新設(shè)備,或者可以作為現(xiàn)有應(yīng)用的性能升級(jí)。
Kalrez°CP222通過提供具有獨(dú)特型材和光滑表面處理的要件,拓展了定制全氟橡膠要件的可能性。
耐化學(xué)性
對(duì)于許多應(yīng)用來說,彈性體的低體積膨脹對(duì)于設(shè)備的正常運(yùn)行至關(guān)重要。過度的膨脹可能會(huì)導(dǎo)致由于密封失效和潤(rùn)滑液體的泄漏而導(dǎo)致設(shè)備過早停機(jī)。體積膨脹是性能的良好預(yù)測(cè)指標(biāo);然而,還需要進(jìn)行其他物理性能測(cè)試來進(jìn)一步定義產(chǎn)品性能。
以下化學(xué)品代表了行業(yè)中一些 性的應(yīng)用。這些測(cè)試結(jié)果表明了性能;然而,所有應(yīng)用都是獨(dú)特的,強(qiáng)烈建議在實(shí)際工藝流體中進(jìn)行浸沒測(cè)試。
杜邦公司™卡爾雷茲粘合門密封件
密封設(shè)計(jì)+材料性能=更高的晶圓產(chǎn)量+更低的擁有成本
技術(shù)信息一2010年7月 0版
用于閘閥和狹縫閥門的密封門封提供了比傳統(tǒng)0型圈更好的密封性能,通過減少顆粒生成、延長(zhǎng)密封壽命和在預(yù)防性維護(hù)期間減少更換時(shí)間。
杜邦™“Kalrez°粘合門密封件設(shè)計(jì)簡(jiǎn)便,顆粒產(chǎn)生量低。它們結(jié)合了定制密封設(shè)計(jì)和專有的粘合技術(shù),以及Kalrez°9100,8002和KalrezSahara8085的出色的等離子體阻力。與傳統(tǒng)的0形環(huán)相比,密封件保持在“固定位置,從而消除了門驅(qū)動(dòng)過程中的“滾動(dòng)/扭動(dòng)”。此外,密封設(shè)計(jì)已優(yōu)化使用有限元分析(FEA),以盡量減少局部應(yīng)力的高濃度。因此,與傳統(tǒng)的0型環(huán)相比,顆粒生成和密封性能顯著提高。Kalrez粘合門密封件可在Kalrez®9100、8002和Kalrez®Sahara中使用。"8085*用于蝕刻、灰化/剝離、HDPCVD、PECVD、SACVD、金屬CVD和ALD芯片加工應(yīng)用。
典型應(yīng)用
閘閥、狹縫閥門和其他類似部件目前采用0形密封圈或燕尾密封。
與傳統(tǒng)0型圈相比,顆粒產(chǎn)生更低,密封壽命更長(zhǎng)·密封元件保持在“固定”位置,即在使用中消除“滾動(dòng)/扭曲”·Kalreze9100,8002和KalrezeSahara"8085用于最小化反應(yīng)等離子體中的粒子生成
·超純后清洗和包裝可減少不必要的污染
改進(jìn)的密封性能-一 設(shè)計(jì)可 限度地減少高濃度的局部應(yīng)力
與0型環(huán)密封在預(yù)防性維護(hù)期間相比,更換時(shí)間更短
·快速便捷地組裝/拆卸到安裝支架減少0型圈密封件常見的安裝問題
在預(yù)防性維護(hù)過程中無需清潔密封蓋
包裝上的條形碼加上封門密封件編號(hào),以及刻在商業(yè)上可獲得的封門密封件背面的Kalrez產(chǎn)品編號(hào),保持可追溯性和識(shí)別性,并確保它是一個(gè)Kalrez全氟彈性體部件(FFKM)。
有效杜邦™Kalrez° 鍵合門封適用于大多數(shù)半導(dǎo)體 OEM 設(shè)備平臺(tái)。此外,可以為大多數(shù)閘閥和狹縫閥門封應(yīng)用開發(fā)定制的 Kalrez° 鍵合門封。超純后清洗和包裝是所有 Kalrez° 鍵合門封的標(biāo)準(zhǔn)。請(qǐng)聯(lián)系杜邦高性能彈性體應(yīng)用工程師或授權(quán)的 Kalrez°分銷商,了解特定尺寸的可用性。
在Fab生產(chǎn)線上得到證明的性能
案例報(bào)告#6376-歐洲制造線,PECVD增值稅MONOVAT保稅門申請(qǐng)工藝化學(xué):三甲基硅烷(TMS)、氧氣
清潔化學(xué):通過遠(yuǎn)程等離子體源進(jìn)行NF3等離子·客戶報(bào)告的結(jié)果:在處理超過55,000對(duì)晶圓后,沒有報(bào)告Kalrez°9100VATMONOVAT*密封門性能問題?，F(xiàn)有的VAT MONOVAT*密封門(具有競(jìng)爭(zhēng)力的FFKM F4)在顯示顆粒生成之前僅使用了30,000對(duì)晶圓。
案例報(bào)告 #7174-美國(guó)Fab線,綜合ALD/鎢合金CVD縫隙閥門密封應(yīng)用工藝化學(xué):WFS,SiH4,H2,N2,Ar
清潔化學(xué): NF3 等離子體“原位”生成
·客戶報(bào)告的結(jié)果:客戶能夠使用Kalrez°9100粘合狹縫閥門密封件將PM周期從6,000片晶圓延長(zhǎng)至10,000片晶圓。由于密封壽命不一致,且由于顆粒生成而過早更換,現(xiàn)有粘合狹縫閥門密封件(競(jìng)爭(zhēng)性FFKM A11)的PM周期設(shè)定為6,000片晶圓。
案例報(bào)告#7153-日本FabLine,HDPCVD縫隙閥門密封應(yīng)用工藝化學(xué): SiH4,02,He
·清潔化學(xué):通過遠(yuǎn)程等離子體源產(chǎn)生 NF3 等離子
客戶報(bào)告的結(jié)果:Kalrez°8002 鍵合狹縫閥門密封件在大約20,000個(gè)晶圓中持續(xù)運(yùn)行,沒有報(bào)告任何性能問題現(xiàn)有密封件(競(jìng)爭(zhēng)性FFKM A11)在顯示真空泄漏之前僅持續(xù)12,000個(gè)晶圓(1個(gè)PM周期)。
案例報(bào)告#7640-日本FabLine,HPDCVD縫隙閥門密封應(yīng)用Process chemistry:SiH4,02,He,Ar,H2
清潔化學(xué): NF3 等離子體
·客戶報(bào)告的結(jié)果:Kalrez®8002}粘合式狹縫閥門密封件在15,000個(gè)晶圓周期內(nèi)沒有報(bào)告任何性能問題?，F(xiàn)有密封件在顯示顆粒生成和真空泄漏之前僅使用了10,000個(gè)晶圓。
案例報(bào)告#3786-歐洲Fab線,SACVD縫隙閥門密封應(yīng)用
過程化學(xué):TEOS,03,TEBO,TEP
客戶報(bào)告結(jié)果:Kalrez° 撒哈拉"“8085鍵合狹縫閥門密封在超過30,000個(gè)晶圓周期內(nèi)沒有報(bào)告任何性能問題?，F(xiàn)有的鍵合狹縫閥門密封(具有競(jìng)爭(zhēng)力的FFKM A11)在出現(xiàn)粒子生成之前僅持續(xù)了10,000個(gè)晶回循環(huán)
案例報(bào)告#7262-歐洲 Fab Line,SACVD MONOVAT®粘合門密封應(yīng)用·過程化學(xué):TEOS,03,TEBO,TEB
·客戶報(bào)告結(jié)果:沒有報(bào)告與KalrezeSahara}相關(guān)的性能問題"8085 VAT MONOVAT@在處理96000對(duì)晶圓后綁定門?，F(xiàn)有VATMONOVAT@綁定門(具有競(jìng)爭(zhēng)力的FFKMA18和F4)在出現(xiàn)粒子生成和真空泄漏之前僅能承受30,000對(duì)和60,000對(duì)晶圓。
案例報(bào)告#5791-馬來西亞Fab線,HDPCVD縫隙閥門密封應(yīng)用·工藝化學(xué):SiH4,02
清潔化學(xué): NF3 等離子體
·客戶報(bào)告結(jié)果:Kalrez°撒哈拉"8085鍵合狹縫閥門密封在12,000個(gè)晶圓中持續(xù)運(yùn)行,沒有任何性能問題報(bào)告。
現(xiàn)有的鍵合狹縫閥門密封(具有競(jìng)爭(zhēng)力的FFKM A18)在出現(xiàn)裂紋之前僅運(yùn)行了6.000個(gè)晶圓。
案例報(bào)告#8729-美國(guó)Fab生產(chǎn)線,鎢CVD縫隙閥門密封應(yīng)用
杜邦™ 卡萊克斯
全氟彈性體成分
在化學(xué)和環(huán)境苛刻環(huán)境下的可使用性和持久性
您可信賴杜邦密封解決方案"即使在最苛刻的工藝環(huán)境中
旨在提供 性能
40多年來,杜邦致力于改進(jìn)全氟彈性體元件的生產(chǎn)。彈性體元件通常由三個(gè)元素組成:聚合物鏈(彈性體的主要鏈),交聯(lián)系統(tǒng)(將聚合物鏈連接在一起,對(duì)彈性和密封性至關(guān)重要)和加載系統(tǒng)(用于提高機(jī)械性能)。由于其長(zhǎng)期的經(jīng)驗(yàn),杜邦將這三者結(jié)合在一起,提供 密封性。
減少揮發(fā)性持放物
Kalreze解決方案KalrezValveStem Packing系統(tǒng)有助于減少揮發(fā)性廢物的損失和排放,從而提高環(huán)保法規(guī)的合規(guī)性。通過保持完整的密封性,Kalrez組件降低了違反環(huán)境法的風(fēng)險(xiǎn)。
生產(chǎn)過程的純凈性
Kalrez組件有助于避免工藝污染:
.Resistendo alla degradazionea contatto con sostanzechimiche aggressive;
更低的維護(hù)成本
杜邦組件™Kalrez有助于增加平均維修時(shí)間(MTBR)并降低維護(hù)成本。它們的耐用性 限度地減少停機(jī)時(shí)間非編程機(jī)器,可延長(zhǎng)常規(guī)檢查和關(guān)鍵部件維修周期之間的時(shí)間。
*Mantenendo la forza di tenuta allealte temperature.in modo da ridurre
le perdite;
*Contenendo meno ingredienti che
vengono estratti nel processo;
Limitando il degassaggio nelle tenutesottovuoto:
更高的生產(chǎn)力
通過降低更換頻率,密封件的修理和檢查,增加工藝和設(shè)備的服務(wù)時(shí)間,提高生產(chǎn)力和產(chǎn)量。
更大的安全性
與其他彈性體相比,使用壽命更長(zhǎng),性能更好,Kalrez有助于降低由于密封件失效而導(dǎo)致的化學(xué)污染風(fēng)險(xiǎn)。
*Soddisfacendo le norme FDA piùsevere riguardanti purezza e igiene
通過IS0 9001認(rèn)證和可追溯4
Kalrez"組件僅由杜邦制造,完全集成的組件和模具制造商Vespel°,氟彈性體Vitone聚合物在合成橡膠氯丁橡膠,以及全氟彈性體組件。Kalrez組件在通過ISO 9001質(zhì)量認(rèn)證的工生產(chǎn),并以帶有條形碼的信封銷售,以確保完全可追溯性。
杜邦公司™Kalrez®為您的應(yīng)用需求提供各種產(chǎn)品
杜邦產(chǎn)品線"“Kalrez專為在苛刻的工藝環(huán)境中提供優(yōu)異的性能而設(shè)計(jì)。由于其高耐酸性,胺,超純?nèi)ルx子水,堅(jiān)固的基礎(chǔ)和高溫,Kalrez產(chǎn)品是任何應(yīng)用的理想解決方案。制造商可以提高其操作環(huán)境中的密封性能。
在食品和制藥行業(yè)的純度
關(guān)于食品和制藥行業(yè)的法規(guī)要求更高的關(guān)注和更嚴(yán)格的指導(dǎo)方針。產(chǎn)品安全。用于制藥應(yīng)用的Kalrez“組件確保與樹脂的清潔性和化學(xué)惰性是真正的彈性體。其熱性能和化學(xué)性能與橡膠相似。a.Kalrez為制藥行業(yè)提供新的保護(hù)水平,防止污染和泄漏。a。
使用高溫的工藝中密封的可靠性,攻擊性化學(xué)物質(zhì)和等離子體,
其他關(guān)鍵應(yīng)用
由于對(duì)燃料的耐受性非常強(qiáng)添加劑潤(rùn)滑劑;腐蝕性化學(xué)品和高溫,Kalrez組件已經(jīng)在航空航天鉆井應(yīng)用中使用,如今在最苛刻的環(huán)境中是 。不允許有密封泄漏的地方
在化學(xué)和碳?xì)浠衔锛庸ぶ心突瘜W(xué)品和高溫
在目前的化學(xué)和碳?xì)浠衔锛庸ぴO(shè)施中,在較高溫度下進(jìn)行,使用更長(zhǎng)的時(shí)間,并且涉及更具侵略性的產(chǎn)品。為了縮短平均維修時(shí)間(MTBR)并提高安全性,Kalrez組件是 。長(zhǎng)期以來,工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)是杜邦"“Kalrez4079但日益增長(zhǎng)的生產(chǎn)需求導(dǎo)致了更高性能的產(chǎn)品開發(fā)。今天,杜邦產(chǎn)品家族"卡爾需茲頻譜"擴(kuò)展Kalrez”4079組件的化學(xué)和熱性能,以 滿足這些應(yīng)用的規(guī)格。
電子產(chǎn)品
這些組件有助于降低晶圓加工的總運(yùn)行成本,光伏面板和液晶顯示器設(shè)備的制造工藝,提供更長(zhǎng)的保質(zhì)期和延長(zhǎng)平均維修時(shí)間。不兼容的保質(zhì)材料導(dǎo)致的非計(jì)劃維護(hù)可能會(huì)干擾生產(chǎn)計(jì)劃,導(dǎo)致機(jī)器停止。Kalrez”組件可以幫助改善
杜邦公司™^Kalrez®提供最廣泛的化學(xué)抗性
對(duì)超過1800種化學(xué)物質(zhì)具有 的抵抗力
杜邦全氟彈性體部件""Kalrezh具有幾乎普遍的化學(xué)抗性。抵抗超過1800種化學(xué)物質(zhì)的侵襲,溶劑和等離子體。常規(guī)使用Kalrez產(chǎn)品對(duì)于需要廣泛的耐化學(xué)性的所有應(yīng)用,不再需要將不同的產(chǎn)品存放在倉庫中,從而降低庫存成本。
最小膨脹量
化學(xué)物質(zhì)引起的膨脹可能導(dǎo)致O型圈和由其他輪胎制成的密封部件從密封槽外膨脹,最終導(dǎo)致密封件松動(dòng)。Kalrez°組件在暴露于各種產(chǎn)品時(shí),可承受顯著的膨聯(lián)
化學(xué)品和溶劑,包括濃縮的硝酸氫氧化鈉,乙二胺和蒸汽。
優(yōu)化化學(xué)阻力和密封性能
為了在特定應(yīng)用中 限度地提高密封性能,杜邦不斷開發(fā)新產(chǎn)品以滿足新的需求。在化學(xué)品和碳?xì)浠衔锛庸ゎI(lǐng)域,杜邦Kalrez@Spectrum產(chǎn)品系列"提供更高的耐化學(xué)性和更高的熱穩(wěn)定性。這種組合為公司提供了更大的操作空間,用于其他化學(xué)用途和更高的熱傳遞。有關(guān)Kalrez組件的化學(xué)兼容性更具體的信息,請(qǐng)聯(lián)系請(qǐng)參閱杜邦的“耐化學(xué)性指南”或Kalrez應(yīng)用指南,兩者都可以在我們的網(wǎng)站上找到,或聯(lián)系Kalrez部件的授權(quán)經(jīng)銷商
杜邦公司"“Kalrez®在高溫應(yīng)用和工藝中表現(xiàn)優(yōu)異
工作溫度高達(dá)327°C
即使長(zhǎng)時(shí)間暴露在高達(dá)327°C的溫度下,杜邦組件"Kalrez@比其他可用于高溫應(yīng)用的彈性體更好地保持其彈性和恢復(fù)性能。這些特性,加上幾乎普遍的化學(xué)抗性,它們使Kalrezdi組件能夠在非常廣泛的工藝環(huán)境中運(yùn)行。
保持密封性能
正如ISO3384測(cè)試所證明的,Kalrez組件在保持密封強(qiáng)度方面優(yōu)于其他彈性體,密封壽命的衡量標(biāo)準(zhǔn)。即使在惡劣和苛刻的條件下,i組件Kalrez更長(zhǎng)時(shí)間保持其密封強(qiáng)度。此外,由于具有與真橡膠相當(dāng)?shù)膹椥?i組件Kalrez@防止由塑料流動(dòng)引起的泄漏,聚四氟乙烯(聚四氟乙烯)有一個(gè)更大的問題。
壓縮套件已更換
Kalrez@組件具有較小的壓縮集,特性保證了長(zhǎng)期 的密封性。由于Kalrezhan組件在壓縮下比其他全氟彈性體更好的恢復(fù),即使在長(zhǎng)時(shí)間受力的情況下,它們也能更好地保持形狀。
杜邦公司™Kalrez®在涉及化學(xué)品和碳?xì)浠衔锏淖羁量坦に囍?延長(zhǎng)了平均維修時(shí)間和維護(hù)壽命
杜邦KalrezKVSP減少揮發(fā)性排放物并改善過程控制
Testato fino alla classe 600 secondo ANSl/FC191-1-1994
*Certificato secondo le norme TA Luft*Confo airequitidoma crettNa sumeattrezzature a presslone PED9T/23/EC
Kalrez”確保用于加工化學(xué)品和碳?xì)浠衔锏拿芊饧氖褂脡勖?
在泵、閥門、機(jī)械密封或分析設(shè)備中杜邦部件"“Kalrez年復(fù)一年地證明了其品質(zhì)。其對(duì) 侵蝕性的化學(xué)品和高溫的高耐性使其能夠抵抗膨脹和脆化,密封過早失效的主要原因之一。無論是O形圈,定制或系統(tǒng)形式閥桿包裝,i組件Kalrez”提高生產(chǎn)力,限制揮發(fā)性排放物并減少昂貴的密封泄漏4
減少摩擦與系統(tǒng)Kalrez閥桿包裝KVSP™
在手動(dòng)和自動(dòng)控制中,使用杜邦"卡爾雷茲®KV SPT杜邦Vespel支撐部件的V形環(huán)Kalreze組合物,可承受高達(dá)288°C的溫度,可提高閥門性能,降低維護(hù)成本并限制揮發(fā)性排放量至10 ppm以下。KalrezKVSP™無需維護(hù),是石墨和聚四氟乙烯密封系統(tǒng)的替代品。
減少摩擦,Kalrez°KVSP提高了過程控制的可變性,提高產(chǎn)量和產(chǎn)品質(zhì)量。摩擦數(shù)據(jù)表明,Kalrez?KVSP™提供與PTFE密封系統(tǒng)類似的性能。由于它們不需要對(duì)閥門進(jìn)行修改,安裝后很少需要調(diào)整,卡爾雷茲KVSPT“在閥門性能方面是一個(gè)重要的更新。
杜邦公司"“Kalrez°確保制藥過程的完整性和純度
其結(jié)合了熱性能和化學(xué)性能以及類似橡膠的密封性能,杜邦組件"Kalrez8為制藥行業(yè)提供了新的保護(hù)級(jí)別,防止工藝污染和粘合劑沉降。類似于PTFE用于清潔,熱和化學(xué)抗性Kalrezha通用密封材料的彈性和抗壓性,例如乙烯-丙烯聚合物(EPDM)。氟彈性體(EKM)和硅橡膠。已開發(fā)出Kalrez®neri和白色產(chǎn)品,以滿足特殊密封要求?，F(xiàn)代制藥和生物制藥生產(chǎn)流程,以提高純度及完整性。
符合FDA和USP標(biāo)準(zhǔn)
根據(jù)食品接觸通知證書FCN000101,美國(guó)食品和藥物管理局(FDA)已確認(rèn)Kalrez”6221和Kalrez°6230全氟彈性體成分符合直接與食品接觸的重復(fù)使用要求。該證書是FDA針對(duì)食品接觸物質(zhì)的上市前通知流程后頒發(fā)的,根據(jù)《聯(lián)邦食品法》第409(h)條的規(guī)定,《藥品和化妝品法》(21U.S.C.348(h))。這是FDA批準(zhǔn)使用食品接觸產(chǎn)品的主要工具。FCN000101規(guī)定材料的可提取性限制不得超過0.031毫克/平方厘米。指定的Kalrez°6221和Kalrez®6230產(chǎn)品已根據(jù)美國(guó)藥典VI類(USPVI類)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行測(cè)試,并符合要求。此外,指定產(chǎn)品Kalrez*符合FDA21CFR 1777.2600標(biāo)準(zhǔn)的要求。
使用杜邦組件在電子領(lǐng)域提供更高的性能"卡爾雷茲®
在電子領(lǐng)域,涂料受到影響性能的工藝條件的影響。幾乎完全的耐化學(xué)性和高耐高溫性使杜邦部件™“Kalrez@}幾乎可以用于任何涉及高溫的工藝應(yīng)用,包括所有類型的血漿。
除了 的耐化學(xué)性和熱穩(wěn)定性外,杜邦
卡爾雷茲“超純"“確保與反應(yīng)性等離子體和清洗氣體接觸時(shí)減少污染,真空密封性能更好,脫氣更少。此外,卡爾雷茲"超純部件"“在無塵環(huán)境中制造,在100級(jí)工作站上特別清潔和雙重包裝。
Kalrez"組件確保在具有侵略性等離子體的應(yīng)用中的長(zhǎng)期可靠性,沉積作用,熱處理應(yīng)用和
潮濕的,無論是晶圓加工,制造光伏電池板或液晶顯示設(shè)備的過程。
Kalrez組件可用作AS568標(biāo)準(zhǔn)0形圈,JIS和公制尺寸。此外,還提供粗片和特殊形狀,用于焊接密封件或定制開發(fā)。
在電子領(lǐng)域進(jìn)行實(shí)地實(shí)驗(yàn)
■使用高能氧等離子體焚燒爐生產(chǎn)超過50000個(gè)晶圓,無需更換噴嘴閥密封
在250°C的LPCVD氮化物管式爐中超過400個(gè)晶園(6個(gè)月)
在300”C的氮化物工藝中,與硅相比,密封件的使用壽命增加四倍,粘附性降低
■與其他全氟彈性體相比,在金屬酸攻擊過程中具有雙耐久性
與130°C等離子焚燒爐門密封件中的硅膠相比,密封件的使用壽命增加10倍
在100°C濕化學(xué)泵應(yīng)用中可提取的離子更少
用于液體顯示器加工的酸接合裝置的大型螺旋閥密封時(shí)間超過6個(gè)月
■在280°C擴(kuò)散爐應(yīng)用中的密封持續(xù)時(shí)間超過3個(gè)月
8個(gè)月的密封期(比競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的自定義密封期高35%%6)為杜邦"卡爾雷茲三葉""在TEOS PE-CVD工藝中
■在等離子體焚化爐中使用Kalrez密封件實(shí)現(xiàn)雙重使用壽命
■與競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的全氟彈性體在等離子焚燒爐淋浴間中的密封壽命相比,密封壽命長(zhǎng)8至14倍(超過3個(gè)月)
在PECVD閘閥應(yīng)用中,與競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的全氟彈性體相比,密封件的使用壽命長(zhǎng)一倍
使用CIF3清洗氣體在LPCVD中實(shí)現(xiàn) 性能(脫氣并產(chǎn)生更小的顆粒)
杜邦組件"“Kalrez@在其他 應(yīng)用環(huán)境中提供更好的性能
航空和航天工業(yè)
杜邦卡爾雷茲組件的耐高溫性能使其成為航空航天應(yīng)用的理想選擇?？柪灼?組件還能夠抵御航空航天中使用的侵蝕性流體的接觸,作為噴氣燃料,發(fā)動(dòng)機(jī)潤(rùn)滑油,液壓流體,火箭推進(jìn)劑和氧化劑。
石油和天然氣
Kalrez”組件即使在鉆并最惡劣的條件下也能正常工作,在高壓和高溫下,酸性氣體和腐蝕性液體。導(dǎo)致膨脹的熱量,腐蝕性液體和有毒氣體會(huì)破壞其他材料的物理特性和密封性能。
在超過40年的現(xiàn)場(chǎng)經(jīng)驗(yàn)中,應(yīng)用于:30多年來,Kalrez組件在以下應(yīng)用中表現(xiàn)出色:
·托管包裝機(jī)
車載輔助發(fā)電機(jī)
為了滿足工業(yè)界對(duì)能夠承受更惡劣操作環(huán)境的材料的需求,已經(jīng)開發(fā)出新一代的航空/航天工業(yè)材料。這些產(chǎn)品,杜邦公司"卡爾雷茲航空密封劑",提供出色的熱穩(wěn)定性和抗壓縮性,保持良好的密封強(qiáng)度。
閥座,框架,密封件,用于包裝機(jī),申T型管,U型密封件,每列記錄裝置,定制形狀
杜邦系統(tǒng)"Kalrez°值莖包裝™風(fēng)(KVSP)
定制解決方案-有限元分析(FEA)
有限元分析軟件提供單源分析能力。從設(shè)計(jì)新的鋼筋構(gòu)造與同步分析到優(yōu)化槽幾何FEA提供 的靈活性,縮短產(chǎn)品開發(fā)時(shí)間,將創(chuàng)新解決方案推向市場(chǎng)。
快速交貨
標(biāo)準(zhǔn)0型圈和庫存部件可在48小時(shí)內(nèi)交付,在提出請(qǐng)求和事先同意的情況下,在歐洲和北美的大多數(shù)目的地。欲了解更多信息,請(qǐng)聯(lián)系銷售代表和客戶支持。
任何想要的形狀
存在和可靠的分銷商網(wǎng)絡(luò)
卡爾雷茲組件。,可通過授權(quán)經(jīng)銷商的廣泛網(wǎng)絡(luò)迅速提供,提供技術(shù)支持,幫助您解決您的房地產(chǎn)問題。有關(guān)授權(quán)經(jīng)銷商的完整列表,請(qǐng)聯(lián)系杜邦。
·標(biāo)準(zhǔn)0形環(huán),尺寸為AS-568、Metric和JIS
TM 杜邦™卡爾瑞茲
全氟彈性體零件
用于光伏制造工藝
技術(shù)信息-2012年9月
提高運(yùn)行時(shí)間..
提高吞吐量...
更低的擁有成本..
隨著對(duì)光伏系統(tǒng)需求的增長(zhǎng),制造商必須找到增加正常運(yùn)行時(shí)間和提高產(chǎn)量的方法。通常,使用更激進(jìn)和高效的化學(xué)品和/或更高的溫度來增加吞吐量;從而對(duì)制造基礎(chǔ)設(shè)施造成更大壓力。由于不兼容的密封材料導(dǎo)致的計(jì)劃外維護(hù)可能會(huì)干擾生產(chǎn)計(jì)劃,導(dǎo)致停機(jī)時(shí)間。因此,無論是基于晶圓還是薄膜工藝的密封材料,都應(yīng)該具有廣泛的化學(xué)相容性和優(yōu)異的熱穩(wěn)定性。
杜邦“Kalrez全氟彈性體部件已在高度腐蝕性密封環(huán)境中進(jìn)行了30多年的現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證。Kalrez部件有助于提高在光伏工藝中的密封可靠性,這些工藝使用高溫、腐蝕性化學(xué)品和等離子體。Kalrez密封件能夠抵抗超過1,800種化學(xué)品:包括反應(yīng)性氣體和等離子體、堿、酸和溶劑。即使在接觸這些腐蝕性化學(xué)品的情況下,Kalrez密封件在高達(dá)325°C的溫度下仍能保持其彈性體特性。
杜邦 推出的密封產(chǎn)品,旨在提供 性選擇性干法工藝的升級(jí)選擇,優(yōu)于標(biāo)準(zhǔn)彈性體。W230提供了 的性能組合(對(duì)酸/堿的抗性),以及杜邦所期望的經(jīng)過驗(yàn)證的性能。™Kalrez°全氟彈性體部件。
在第2頁中,建議的 Kalrez產(chǎn)品可用于不同的光伏電池制造工藝以及多晶硅原料生產(chǎn)和減排系統(tǒng)。
光伏產(chǎn)品選擇指南
硅片基電池制造工藝
表面處理/清潔
卡爾雷茲W230
興奮劑卡爾雷茲PV8070
工藝類型
鋸片損傷去除表面處理和清潔
N-興奮劑
邊緣隔離
P 硅酸鹽去除
ARC涂層
其他工藝類型
多晶硅原料生產(chǎn)西門子技術(shù)
消減系統(tǒng)(“濕”洗滌器)
邊緣隔離
Kalrez®W23019100
P 硅酸鹽去除 Kalrez°
W230
ARC涂層Kalrezw230/9100
典型工藝環(huán)境
HF,稍酸,80°C濃統(tǒng)NaOH,KOH,IPA,HCI,熱水
850-900°C,氧化物噴射,原位氟酒洗
CF/02等離子體刻蝕
NaOH、KOH、HF、HNOHCI等SiH4,NHa,02等離子體PECVD或反應(yīng)濺射,原位NF3等離子清洗
典型工藝環(huán)境
TCS CVD沉積1100°C,SiHCI,HCI,赫茲
強(qiáng)酸/堿
金屬化
建議的杜邦產(chǎn)品
Kalrezo W230
Kalrez® P8070
Kalrez® W230/9100*
Kalrez® W230
Kalrez® W2309100
建議的杜邦產(chǎn)品
Kalreze W230PV8070
餷週婎觫敲鬚柘ぱ征lrezo W230
測(cè)試分院
薄膜電池制造工藝
返回聯(lián)系方式
模式化激光雕刻
工藝類型
細(xì)胞層沉積/吸收器
Amorphous/Micro-CrystallineSilicon
CIS/CIGS。擴(kuò)散
。Cds緩沖沉積
oCu(In,GA)濺射
·碲化鎘
o單側(cè)激活
o鎘蝕刻
oCds緩沖區(qū)沉積
TCO沉積/前接觸
細(xì)胞層沉積
產(chǎn)品見下文
圖案化激光書寫
TCO沉積見下文關(guān)于產(chǎn)品。
典型工藝環(huán)境
SiH4,Hz,等離子體PECVD,遠(yuǎn)程N(yùn)F3等離子清洗
500-550”C,氫硒,H2S擴(kuò)散65°C溶于NH40H中的Cd和S鹽400-600℃,真空
400°C,CdClz溶于甲醇,濃H3PO4,硝酸65°C,鎘和硫鹽溶于NHOHZn0反應(yīng)濺射二乙基鋅(DEZ)MOCVD
圖案化激光書寫
鐺凝措試分院
建議的杜邦產(chǎn)品
Kalrez8 W2309100*
Kalrezs W230PV8070*
Kalrez® W230Kalrez® W230
Kalrez® W230Kalrez® W230Kalrez® W230Kalrez® W230
Kalrezs W230VPV8070*
請(qǐng)聯(lián)系Kalrez應(yīng)用工程師,以獲取此應(yīng)用中 的產(chǎn)品
杜邦Kalrez@W230光伏產(chǎn)品的推薦產(chǎn)品Kalrez°W230 全氟彈性體部件是一種黑色產(chǎn)品,適用于需要廣泛化學(xué)耐性的 PV 濕法和選擇性濕法制造工藝。W230提供了極好的性能組合(耐酸/堿),是PV濕法工藝的升級(jí)選擇,作為標(biāo)準(zhǔn)彈性體的替代品。建議 連續(xù)使用溫度為 230°C。杜邦™卡雷茲Kalrez°PV8070全氟彈性體部件是黑色產(chǎn)品,適用于需要高溫抗性的PV電池制造過程。它表現(xiàn)出優(yōu)異的耐熱穩(wěn)定性,并具有優(yōu)良的(低)壓縮變形和脫氣性能。它還具有良好的抗氯氣和氟氣以及其他干法工藝化學(xué)品的性能。KalrezPV8070具有優(yōu)異的機(jī)械強(qiáng)度性能,非常適合靜態(tài)和動(dòng)態(tài)密封應(yīng)用。建議的 連續(xù)使用溫度為325°C。短期游覽高溫地區(qū)也是可能的。
杜邦公司:卡爾雷茲9100Kalrez°9100全氟彈性體部件是一種琥珀色半透明產(chǎn)品,用于邊緣隔離、ARC涂層和要求耐氟等離子體的光伏電池制造工藝,包括非晶硅/微晶硅薄膜淀積。在基于氟的等離子體(如 NF3、F2)中,它表現(xiàn)出極低的重量損失和超低的粒子生成。它還具有優(yōu)異的耐干法化學(xué)性,并具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性、壓縮設(shè)定和排氣性能。Kalrez°9100具有良好的機(jī)械強(qiáng)度特性,非常適合靜態(tài)和動(dòng)態(tài)密封應(yīng)用。建議的 連續(xù)使用溫度為300°C。
杜邦公司™卡萊茲全氟橡膠零件
半導(dǎo)體工業(yè)中的等離子體過程
杜邦"Kalrez*全氟彈性體部件已在高度腐蝕性密封環(huán)境中成功使用超過40年。Kalrez*部件具有優(yōu)異的化學(xué)和熱穩(wěn)定性并經(jīng)過特別配方和加工,以滿足晶圓處理環(huán)境的獨(dú)特要求。杜邦Kalrez密封件提供標(biāo)準(zhǔn)尺寸和定制尺寸的0形環(huán),以及滿足等離子體環(huán)境中品圓處理嚴(yán)格要求的可定制形狀。在半導(dǎo)體行業(yè)使用的所有Kalrez°}產(chǎn)品都采用專有超凈工藝和潔凈室處理作為標(biāo)準(zhǔn)。
等離子體過程的產(chǎn)品選擇
下表為根據(jù)生產(chǎn)工藝類型選擇 Kalrez%要件提供了一個(gè)快速簡(jiǎn)便的工具:
工藝類型
HDPCVD
PECVD /PEALD
PECVD固化工藝
SACVD /FCVD
導(dǎo)體(聚合物/金屬)蝕刻
介電(氧化物)蝕刻
灰燼/碎屑
使用溫庶
250°C至300°C
275°C至310°C
150°C至200°C
280°C至300°C
150°C至225°C
100℃C至180°C
180°C至250°C
典型化學(xué)品
TMS,DEMS,TEOS,SiH,,NH,SiF4,0,,N,O,CF,NF
TMS,DEMS,TEOS,SiH,
NH,SiF,O,N,O,CF.NF
05+紫外線
TEP,TEBO,TEOS,O,NF,NH,
CF4,CHF,,HBr,BCL,CCLZ,CL
NF
CF ,CF CHF SF .O..H
O,,CF,CHF,NH,,水
蒸汽,H“形成氣體
建議產(chǎn)品
Kalrez”9100/9500
Kalrez*9600
Kalrez*87052
Kalrez°9500
Kalrez”9500/9600
Kalrez*9100/9300
卡爾雷茲9300
Kalrez*9300/8002
當(dāng)前Kalrez@產(chǎn)品適用于等離子體應(yīng)用
卡爾雷茲9600Kalrez°9600 部件專為高純度、高溫真空應(yīng)用而設(shè)計(jì),在這些應(yīng)用中,密封件會(huì)暴露在具有破壞性的氟和氧等離子體自由基中。它具有極低的等離子體攻擊侵蝕率和重量損失,對(duì)氨、臭氧和水蒸汽具有良好的化學(xué)抗性。它在壓縮時(shí)的 彈性和在高溫條件下的超低出氣率使其特別適用于純度至關(guān)重要的應(yīng)用,如等離子體增強(qiáng)原子層沉積和化學(xué)氣相沉積工黨
Kalrez*9500Kalrez® 9500 部件專門針對(duì)使用臭氧、氨和水蒸氣進(jìn)行加工的沉積工藝而設(shè)計(jì),例如SACVD、FCVD、PECVD 固化工藝等。它專門設(shè)計(jì)用于等離子體環(huán)境更“化學(xué)”的應(yīng)用,即氧和氟原子基更占優(yōu)勢(shì)的應(yīng)用。Kalrez°9500還具有出色的熱穩(wěn)定性、極低的氣體逸出和優(yōu)異的機(jī)械強(qiáng)度,非常適合靜態(tài)和動(dòng)態(tài)密封應(yīng)用。
卡爾雷茲”9300
Kalrez@9300 部件專為介電(氧化物)蝕刻應(yīng)用而設(shè)計(jì)。它特別設(shè)計(jì)用于等離子體環(huán)境為離子(“物理”)和自由基(“化學(xué)”)組合的應(yīng)用,即通常需要平衡“物理”和“化學(xué)等離子體耐蝕性的應(yīng)用。Kalreze9300 表現(xiàn)出對(duì)氧和氟基等離子體和蝕刻工藝化學(xué)的出色耐性。它還具有非常低的金屬含量、優(yōu)異的熱穩(wěn)定性和機(jī)械強(qiáng)度,非常適合靜態(tài)和動(dòng)態(tài)密封應(yīng)用。
卡爾雷茲”9100Kalrez®9100部件專門針對(duì) PECVD、ALD、HDPCVD 和導(dǎo)體(聚/金屬)蝕刻應(yīng)用而設(shè)計(jì)Kalrez®9100 專門設(shè)計(jì)用于惡劣等離子體環(huán)境中的低磨損和超低粒子生成。它提供優(yōu)異的耐熱穩(wěn)定性、非常低的氣體逸出以及優(yōu)異的彈性恢復(fù)和良好的機(jī)械強(qiáng)度特性,非常適合靜態(tài)和“選擇”動(dòng)態(tài)密封應(yīng)用。
卡爾雷茲”8002Kalrez°8002部件是用于灰/帶應(yīng)用的透明產(chǎn)品。與礦物填充產(chǎn)品相比,這種未填充的產(chǎn)品在氧氣和氟化物基等離子體中具有優(yōu)異的抗等離子體開裂性能和極低的粒子生成。Kalrez8002表現(xiàn)出優(yōu)異的干法化學(xué)抗性,具有良好的機(jī)械強(qiáng)度,非常適合靜態(tài)、低應(yīng)力/低密封力以及“選擇”粘合門密封應(yīng)用。
卡爾雷茲*8705Kalrez®8705 全氟彈性體部件主要設(shè)計(jì)用于常規(guī)光源或等離子體發(fā)出的高能紫外線(UV)輻射的直接路徑中的密封位置。它們還具有良好的抗高濃度破壞性自由基的能力,以及在高溫真空應(yīng)用中的 密封功能。它們極低的粘附力使其成為密封石英表面的理想選擇,如紫外線固化室中的石英窗和光致抗蝕劑帶設(shè)備中的石英管,不會(huì)留下不想要的殘留物。
杜邦公司™卡萊茲全氟橡膠零件
半導(dǎo)體工業(yè)中的熱過程
杜邦™Kalrez°全氟彈性體部件已在高度腐蝕性密封環(huán)境中成功使用超過40年。Kalrez的部件具有優(yōu)異的化學(xué)和熱穩(wěn)定性,并經(jīng)過特別配方和處理,以滿足晶圓處理環(huán)境的獨(dú)特要求。杜邦Kalrez)密封件提供標(biāo)準(zhǔn)尺寸和定制尺寸的0形環(huán),以及定制形狀,以滿足熱環(huán)境中品圓處理的高要求。在半導(dǎo)體行業(yè)使用的所有Kalrez)產(chǎn)品均采用專有超凈工藝和潔凈室處理作為標(biāo)準(zhǔn)。
熱過程產(chǎn)品選擇器
下表為根據(jù)生產(chǎn)工藝類型選擇 Kalrez®要件提供了一個(gè)快速簡(jiǎn)便的工具:
工藝類型
ALD/LPCVD/金屬CVD
氧化/硝化/擴(kuò)散
燈退火 /RTP
晶圓表面制備
使用溫度
250°C至300°C
280°C至300°C
250℃C至275°C
200°C至275°C
典型化學(xué)品
WF,TiCL,SIHHF,F.CL,O,HO蒸汽,CIF,
NO..H 0Vapor,HCI,CL,O,
紅外光、0、H、O蒸氣
NF.NH, HF, F,H,
建議產(chǎn)品
Kalrez*8900/7075UP
Kalrez 7075UP/8900
卡爾雷茲’8575
卡爾雷茲”9500/9600
1請(qǐng)咨詢Kalrez°應(yīng)用指南和/或您的Kalrez"代表,以評(píng)估性能是否適合您的具體應(yīng)用
熱過程的典型應(yīng)用:
石英室密封件
愨使鐮柄劇躁戯鉦莉
中心環(huán)
低介電固化工藝
當(dāng)前Kalrez°產(chǎn)品適用于熱應(yīng)用
卡爾雷茲”8900Kalrez“8900”部件適用于氧化、擴(kuò)散、ALD和LPCVD應(yīng)用。它提供 的耐熱穩(wěn)定性、非常低的析氣率和優(yōu)異的(低)壓縮回彈特性。Kalrez*8900}部件在高溫下表現(xiàn)出優(yōu)異的物理性能保持能力,具有優(yōu)異的機(jī)械強(qiáng)度,非常適合靜態(tài)和動(dòng)態(tài)密封應(yīng)用。
叢黃聶標(biāo)脩鍆嗒棲廡棛霊睪?ма37390901002412011D14115010138 280 150
Kalrez”8900 零件:非常低的外形與兼容的 FFKM 產(chǎn)品相比
卡爾雷茲”8575
Kalrez®8575部件適用于氧化、擴(kuò)散、燈退火和實(shí)時(shí)傳輸協(xié)議密封應(yīng)用。Kalrez°8575具有優(yōu)異的耐熱穩(wěn)定性和長(zhǎng)期密封性能,紅外(IR)吸收少,在高溫下排氣性能顯著降低。它還具有良好的機(jī)械性能,適用于靜態(tài)和低應(yīng)力/低密封力應(yīng)用。
Kalrez”7075UPKalrez°7075UP 零件專門用于金屬 CVD 應(yīng)用。它們具有出色的熱穩(wěn)定性、極低的析氣率和優(yōu)異的壓縮回彈特性。Kalrez°7075UP表現(xiàn)出優(yōu)異的密封力保持能力,具有良好的機(jī)械性能,非常適合靜態(tài)和動(dòng)態(tài)密封應(yīng)用。
Kalrez*8575 部分
超純后清潔和包裝是所有由Kalreze7075UP制造的零件的標(biāo)準(zhǔn)配置,
Kalrez* 7075UP O型圈
Kalrez 9500Kalrez@ 9500 部件專門針對(duì)使用臭氧、氨和水蒸氣進(jìn)行加工的沉積工藝而設(shè)計(jì),例如SACVD、FCVD、PECVD 固化工藝等。它專門設(shè)計(jì)用于等離子體環(huán)境更“化學(xué)”的應(yīng)用,即氧和氟原子基更占優(yōu)勢(shì)的應(yīng)用。Kalrez"9500還具有出色的熱穩(wěn)定性、極低的氣體逸出和優(yōu)異的機(jī)械強(qiáng)度,非常適合靜態(tài)和動(dòng)態(tài)密封應(yīng)用。
Kalrez" 9500件基于專有的交聯(lián)系統(tǒng)
該系統(tǒng)僅由杜邦提供。
Kalrez 9600Kalrez®9600 部件專為高純度、高溫真空應(yīng)用而設(shè)計(jì),在這些應(yīng)用中,密封件會(huì)暴在具有破壞性的氟和氧等離子體自由基中。它具有極低的等離子體攻擊侵蝕率和重量損失,對(duì)氨、臭氧和水蒸汽具有良好的化學(xué)抗性。它在壓縮時(shí)的 彈性和在高溫條件下的超低出氣率使其特別適用于純度至關(guān)重要的應(yīng)用,如等離子體增強(qiáng)原子層沉積和化學(xué)氣相沉積工藝。
Kalrez° 9600 0型園
杜邦公司”卡爾雷茲
半導(dǎo)體硅片加工用彈性密封件的泄氣特性
技術(shù)文獻(xiàn)-在AVS研討會(huì)上的論文,2009年11月
大多數(shù)集成電路制造工藝都在高真空或超高真空規(guī)定的范圍內(nèi)對(duì)于確保 工藝效率、均勻性和一真空泵是維持足夠真空水平以進(jìn)行加工的主要機(jī)制方面可以發(fā)揮作用。更重要的是控制腔室內(nèi)工藝環(huán)通常可以補(bǔ)償由于密封放氣引起的真空水平變化成分的潛在有害變化。由于放氣引起的腔內(nèi)分壓變?cè)茐哼^程中的質(zhì)量問題。
一般來說,人們普遍認(rèn)為彈性體比金屬更容易逸出氣體。在許多超高真空系統(tǒng)中,使用金屬密封件來避免這個(gè)問題。然而,金屬密封件并不總是有效和/或?qū)嵱谩Ｊ褂媒饘倜芊饧囊恍├щy包括:
安裝困難
昂貴
Non-reusable
動(dòng)態(tài)應(yīng)用中的密封性能較差
石英和陶瓷密封應(yīng)用中部件損壞的可能性
因此,真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)師和工藝工程師了解彈性密封件的脫氣特性非常重要。目前,沒有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)來測(cè)量和表征彈性密封件的脫氣性能,可用的有用數(shù)據(jù)有限。
本研究通過杜邦開發(fā)的一種測(cè)試方法,評(píng)估和比較了三種不同類別的彈性密封材料在半導(dǎo)體工藝環(huán)境中的析氣特性。表1列出了評(píng)估的產(chǎn)品/材料。
表1.評(píng)估的材料
彈性體分類
全氟橡膠
全氟橡膠
氟橡膠
硅酮
參考文獻(xiàn)識(shí)別
杜邦公司™ Kalrez°8900
杜邦公司™Kalrez°8475
FKM-K7
VMQ-T1
聚合物類型
TFE/PMVE
TFE/PMVE
VF?/HFP
甲基二硅氧烷
填充系統(tǒng)
碳黑
二氧化硅/金屬氧化物
系統(tǒng)
雜環(huán)
雜環(huán)
碳黑
二氧化硅
雙酚
有機(jī)過氧化物
*FKM 和 VMO 是ASTM 標(biāo)記的彈性體類別。K7和T1是杜邦內(nèi)部參考。
開發(fā)的測(cè)試方法和相關(guān)設(shè)備使用殘留氣體分析儀(四極質(zhì)譜儀的一類術(shù)語)來評(píng)估彈性體的脫氣性能其他用于脫氣分析的測(cè)試方法/分析設(shè)備有時(shí)是TGA-FTIR或質(zhì)譜法,以及頂空GC質(zhì)譜法。雖然這些技術(shù)很有用,但它們有一些局限性和缺點(diǎn)。表2比較了每種測(cè)試方法的能力。
表2.排氣試驗(yàn)方法比較
測(cè)試能力
真空下的測(cè)量
溫度控制
民進(jìn)黨方法RGA/QMS*
是的,特高壓”
可編程的
分析溫度330“C氣體種類分析方法(帶電子倍增器)質(zhì)量管理體系
定量結(jié)果
總排放速率(噸·升/秒/厘米2)
TGA-FTIR/MS熱
重分析
不,1臺(tái)自動(dòng)取款機(jī)
可編程的
1000“C
MS或FTIR
體重減輕百分比
HS-GC/MS頭空
間氣相色譜法
不,1臺(tái)自動(dòng)取款機(jī)
等溫的
230“C
GCIIMS
難以獲得(需要昂貴的校準(zhǔn))
超高真空,1x10&torr"QMS=Quadrupole Mass Spectrometer
杜邦測(cè)試方法的主要優(yōu)點(diǎn)是在代表典型半導(dǎo)體工藝的環(huán)境中獲得定量放電數(shù)據(jù)的能力。
本文介紹了杜邦開發(fā)的測(cè)試方法,比較了三種常用彈性體(表1)的脫氣數(shù)據(jù),并討論了這些數(shù)據(jù)如何用于協(xié)助設(shè)備和工藝工程師。測(cè)量和比較的特征包括總脫氣率作為溫度的函數(shù)和給定溫度下的總脫氣率作為時(shí)間的函數(shù)。此外,該方法和設(shè)備允許分析/監(jiān)測(cè)與每種速率測(cè)試中的物質(zhì)質(zhì)量電荷比(M/z)相關(guān)的特定氣體物種。
2.0實(shí)驗(yàn)程序
杜邦開發(fā)的協(xié)議涉及設(shè)備和測(cè)試方法,能夠測(cè)量彈性體在類似于典型半導(dǎo)體加工應(yīng)用條件下的脫氣特性。它允許確定總脫氣速率與時(shí)間和溫度的關(guān)系,并在真空下監(jiān)測(cè)樣品釋放的特定氣體種類。
由于彈性體通常是根據(jù)其化學(xué)耐性和熱穩(wěn)定性與使用要求的組合來選擇的,因此初始測(cè)試比較了每種材料在溫度增加時(shí)的脫氣特性。在這些測(cè)試中,很明顯有必要在兩個(gè)階段測(cè)量脫氣率與溫度的測(cè)試。在初始加熱階段(從約50°C到>300C),一些材料脫氣,使得腔室內(nèi)的局部壓力增加到>1x10 4托。 在這種偏壓下,無法使用能夠提高離子電流/氣體種類檢測(cè)靈敏度的電子倍增器。
此外,由于評(píng)估的三種材料中有兩種通常不建議在高于約200°C的情況下連續(xù)使用,因此分兩階段進(jìn)行了脫氣特性測(cè)試。 階段測(cè)試在約50°C至200°C的范圍內(nèi)進(jìn)行。在真空下冷卻至約50°C后, 階段在同一樣品上從約50°C至330°C進(jìn)行。采用這種方法可以更準(zhǔn)確地監(jiān)測(cè)(并更全面地了解)脫氣機(jī)制。圖1顯示了脫氣測(cè)試設(shè)備。
圖1.殘留氣體分析器/排氣試驗(yàn)設(shè)備
2.1樣品的制備
AS568A尺寸為214的0形環(huán)與表1中列出的每種材料相對(duì)應(yīng)。每個(gè)0形環(huán)都被稱重。然后收集0形環(huán)的1/16部分,用于評(píng)估。在樣品制備過程中,注意避免可能的污染,因?yàn)樘幚砜赡軙?huì)影響放氣結(jié)果。將樣品放入石英舟中,然后將石英舟放入石英樣品管中(見圖2)。
2.2測(cè)試設(shè)備的設(shè)置與運(yùn)行
在對(duì)任何彈性體樣品進(jìn)行評(píng)估之前,系統(tǒng)通過允許其泵壓兩周左右來調(diào)節(jié),以確保系統(tǒng)清潔且無污染物。關(guān)閉閥門#2后,使用渦輪分子泵(TMP)泵壓至約2x10°托。在進(jìn)行出氣測(cè)試之前,將真空保持在這一水平12小時(shí)。初始調(diào)節(jié)后,TMP連續(xù)運(yùn)行,直到測(cè)試完成。在閥門#2仍然關(guān)閉的情況下,將包含樣品的石英管緊固到位。使用一個(gè)Conflat密封件銅金屬密封件)來確保任何氣體逸出都只來自評(píng)估樣品。一旦石英管就位,打開閥門#3并使用干泵將石英樣品室抽至1x10"托爾的真空水平。
2.3 定量和定性排氣測(cè)量與表征2.3.1.脫氣速率與溫度的關(guān)系( 階段)-通過關(guān)閉閥門#3并打開閥門#2,系統(tǒng)被允許平衡(P1=P2~1x107托)。離子計(jì)1和離子計(jì)2(真空室)之間的真空管線具有0.0005升/秒的傳導(dǎo)系數(shù)。使用此傳導(dǎo)系數(shù),脫氣流量的計(jì)算如下
Q=C(P2-P1),其中
Q=氣體流量(轉(zhuǎn)/升/秒)
C=導(dǎo)電系數(shù)與管徑和長(zhǎng)度成正比=.005升/秒。
P2=離子計(jì)2處的壓力讀數(shù)(扭矩)
P1=離子計(jì)#1處的壓力讀數(shù)(扭矩)
由于樣品以受控速率(1°C/min)加熱,從彈性體中逸出的氣體導(dǎo)致P2發(fā)生變化,從而計(jì)算出產(chǎn)生的流量。將產(chǎn)生的流量除以評(píng)估樣品的表面積,得到每平方厘米表面積逸出流量(托-升/秒/平方厘米),將流量繪制成與石英管溫度的關(guān)系圖,間隔20℃。石英管加熱器升至200℃℃。在閥門#2仍然打開的情況下,樣品被允許冷卻至約50°C,并在夜間保持該溫度。
2.3.2 析氣速率與溫度的關(guān)系( 階段)-在樣品冷卻過夜后,重復(fù)該步驟;然而將溫度以2°C/min的速度升至330°C。在此期間,計(jì)算并繪制了析氣速率與石英管溫度的關(guān)系圖。
2.3.3 在指定溫度(275°C)下的析氣速率與時(shí)間-對(duì)于此測(cè)試,按照第2.1節(jié)所述制備新樣品。重復(fù)第2.3.1節(jié)所述的順序;然而,將溫度以4°C/min的速度升至275°C,并在275°C下保持21小時(shí)。在此期間,計(jì)算析氣流量并繪制與時(shí)間的關(guān)系圖。
2.3.4析出氣體的定性和半定量分析---在第2.3.1至2.3.3節(jié)概述的每一次放氣速度試驗(yàn)中,均使用四極質(zhì)譜儀對(duì)析出氣體進(jìn)行分析。根據(jù)適當(dāng)?shù)碾姾少|(zhì)量比(M/z),繪制了選定氣體種類的相對(duì)強(qiáng)度與溫度或時(shí)間的關(guān)系圖。這與每種材料的排氣速率曲線相結(jié)合,提供了一種半定量的測(cè)量方法,并對(duì)演變的氣體種類進(jìn)行了比較。雖然可以監(jiān)測(cè)所有產(chǎn)生的氣體種類,但只監(jiān)測(cè)并繪制了通常與吸收/產(chǎn)生的大氣氣體(H20、02、N2/CO和CO2)逸出相關(guān)的氣體種類,以及與交聯(lián)或熱分解相關(guān)的氣體復(fù)合物。對(duì)于測(cè)試的全氟彈性體和氟彈性體,這些是HF、CF2H、CF3和C2F3;對(duì)于硅樣本,這些是(CH3)3-Si和(CH3)3-Si-0-Si-(CH3)3.
用于分析的質(zhì)諾儀的規(guī)格如下:
制造商:
型號(hào):
纖維類型:
大規(guī)模分解:
探測(cè)器:
敏感性:
最小可探測(cè)部分壓力:
安爾瓦M(jìn)-QA100TS鎢M/delta M2M
CEM(電子乘數(shù))
3.8 A/Pa(CEM)用于N2
1堪.0 E-12 Pa
相對(duì)離子強(qiáng)度數(shù)據(jù)以對(duì)數(shù)尺度繪制。從數(shù)據(jù)中進(jìn)行了許多觀察,以幫助理解每種材料的速率性能差異以及導(dǎo)致這種差異的氣體物種的身份。
在所有監(jiān)測(cè)的氣體種類中,M/z=18(H20)對(duì)每種材料的振幅度 。隨著溫度的升高,杜邦的H20離子強(qiáng)度"Kalrez°8475和FKM-K7比杜邦高出一個(gè)數(shù)量級(jí)Kalrez°8900和VMQ-T1。這似乎是造成排氣速率差異的主要原因。
按離子強(qiáng)度順序排列的下一組氣體包括吸收/進(jìn)化的大氣氣體(N2,02,CO,二氧化碳
離子強(qiáng)度 的氣體與熱降解有關(guān)。這些氣體是全氟橡膠和氣橡膠的HF和CF絡(luò)合物,以及硅酮的CH3-Si絡(luò)合物。
數(shù)據(jù)顯示,所有測(cè)試的材料類別都會(huì)吸收大氣中的氣體(主要是水分),這些氣體會(huì)在加熱時(shí)逸出。它還表明,同一材料類別(Kalrez°8900和8475)的逸出性能可能會(huì)受到配方/混合差異的影響。
3.2 階段排氣(50°C至330°C)
圖10顯示了圖9顯示了所有四種材料在 階段的總放氣速率與溫度數(shù)據(jù)。為了比較,目使用與圖9中 階段數(shù)據(jù)一致的垂直刻度重新繪制的 階段速率數(shù)據(jù)。
關(guān)于 階段結(jié)果以及 階段和 階段之間關(guān)系的意見和評(píng)論是:
·在 次加熱上升周期中,所有四種材料的析氣速率保持非常低且平穩(wěn),直到達(dá)到約200°C。這表明,一旦材料暴露在特定溫度下并在真空中允許析氣,其性能將保持穩(wěn)定,直到引入更高溫度以引發(fā)進(jìn)一步反應(yīng)。從200°C到330℃,杜邦"Kalrez®8900和 8475 的析氣率 ,而VMQ-T1和 FKM-K7 的析氣率顯著增加。這符合與標(biāo)準(zhǔn)氟橡膠和硅酮相關(guān)的公認(rèn)的熱限制。
· 階段和 階段的速率曲線比較表明,在大約200°C時(shí),Kalrez°8475}和VMO-T1的速率性能之間存在交叉點(diǎn)。Kalrez°8475}以乎表現(xiàn)出較高的初始脫氣,這可能是因?yàn)槠涮盍舷到y(tǒng)的吸濕性更強(qiáng)。然而,隨著溫度的升高,VMQ-T1的熱限制導(dǎo)致其以比Kalrez° 8475}更高的速率脫氣。
圖11、12、13和14分別顯示了Kalrez°8475、Kalrez°8900、FKM-K7和VMQ-T1的選擇性離子強(qiáng)度數(shù)據(jù)。
